[发明专利]遮光结构和激光设备

说明书

技术领域

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种遮光结构和激光设备。

背景技术

随着平面显示装置的兴起，低温多晶硅(Low Temperature Poly-Silicon，简称LTPS)技术已成为高画质显示装置的代名词。近年，各大面板厂商相继投产大视代低温多晶硅技术生产线，低温多晶硅技术发展迅速、前景良好。低温多晶硅技术不仅可以用来制备普通液晶显示装置(Liquid Crystal Display，简称LCD)，还可用在有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，简称OLED)、柔性(Flexible)背板的制作工艺中。准分子激光退火(Excimer Laser Annealing，简称ELA)工艺是LTPS工艺的重要组成部分。

在准分子激光退火设备中，需要通过遮光板实现激光光束对玻璃基板的曝光区域选择，实现不同区域曝光或不曝光。目前的准分子激光退火设备中，遮光板(slit)结构设置在激光器的两侧，对激光器的两侧光束进行遮挡，就目前而言一次只能实现一个区域扫描。然而，在某些情况下，同一片玻璃基板上，可能存在两个或者更多分开的区域需要扫描，应用目前的激光退火设置只能一个区域一个区域的分别扫描，难以满足生产需求。

另外，在激光薄膜分离设备(Laser Lift-Off，简称LLO)中也存在相同的、只能单区域扫描问题。可见，如何解决激光设备中对工件扫描区域的细分，实现激光一次扫描多个区域，成为目前亟待解决的技术问题。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中上述不足，提供一种遮光结构和激光设备，至少解决激光设备中对工件扫描区域的细分，实现激光一次扫描多个区域。

解决本发明技术问题所采用的技术方案是该遮光结构，其中，所述遮光结构包括第一遮光板组和第二遮光板组，所述第一遮光板组和所述第二遮光板组均各包括至少一块遮光板，各所述遮光板能相对移动，使得所述遮光结构形成至少两个透光区域。

优选的是，所述第一遮光板组包括第一遮光板和第二遮光板，所述第一遮光板和所述第二遮光板的相对边为能互相啮合形成无缝贴合的形状；所述第一遮光板和所述第二遮光板能沿所述相对边移动，以使得所述第一遮光板和所述第二遮光板沿第一方向啮合形成不同的遮光宽度。

优选的是，所述第一遮光板和所述第二遮光板靠近所述透光区域的边缘与第一方向垂直。

优选的是，所述第一遮光板和所述第二遮光板为形状和尺寸相同的三角形，且相对边为互相平行的直线边缘。

优选的是，所述第一遮光板和所述第二遮光板为直角三角形，直角三角形的斜边为相对边，直角三角形的直角边与第一方向平行或垂直。

优选的是，所述遮光结构还包括第一导轨组和第二导轨组，所述第一导轨组包括互相平行的第一导轨和第三导轨，所述第二导轨组包括互相平行的第二导轨和第四导轨，所述第一导轨的延伸方向和所述第二导轨的延伸方向互相垂直；

所述第一导轨设置于所述第二导轨上，所述第一遮光板设置于所述第一导轨上，所述第三导轨设置于所述第四导轨上，所述第二遮光板设置于所述第三导轨上。

优选的是，所述第一遮光板组包括第一遮光板，所述第一遮光板为矩形，且所述第一遮光板的移动方向设置为与第一方向垂直。

优选的是，所述遮光结构还包括第一导轨组和第二导轨组，所述第一导轨组包括第一导轨，所述第二导轨组包括第二导轨，所述第一导轨的延伸方向和所述第二导轨的延伸方向互相垂直，所述第一导轨设置于所述第二导轨上，所述第一遮光板设置于所述第一导轨上。

优选的是，所述第一导轨或所述第二导轨的延伸方向，与第一方向平行。

优选的是，所述第二遮光板组包括第三遮光板和第四遮光板，所述第三遮光板和所述第四遮光板沿第一方向设置、且可以分别沿第一方向移动。

优选的是，所述第一遮光板组和所述第二遮光板组中的所有遮光板处于同一平面。

一种激光设备，包括工件载板以及与所述工件载板相对设置的激光器，所述激光器形成条状光束，所述工件载板和所述激光器之间设置有遮光结构，其中，所述遮光结构为权利要求1-11任一项所述的遮光结构。

优选的是，所述激光器或所述工件载板任一为固定设置，另一为能沿垂直于所述激光器的条状光束的延伸方向的方向往复移动。

优选的是，所述激光设备包括准分子激光退火设备和激光薄膜分离设备。