[发明专利]遮光结构和激光设备

权利要求书

1.一种遮光结构，其特征在于，所述遮光结构包括第一遮光板组和第二遮光板组，所述第一遮光板组和所述第二遮光板组均各包括至少一块遮光板，各所述遮光板能相对移动，使得所述遮光结构形成至少两个透光区域。

2.根据权利要求1所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板组包括第一遮光板和第二遮光板，所述第一遮光板和所述第二遮光板的相对边为能互相啮合形成无缝贴合的形状；所述第一遮光板和所述第二遮光板能沿所述相对边移动，以使得所述第一遮光板和所述第二遮光板沿第一方向啮合形成不同的遮光宽度。

3.根据权利要求2所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板和所述第二遮光板靠近所述透光区域的边缘与第一方向垂直。

4.根据权利要求2所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板和所述第二遮光板为形状和尺寸相同的三角形，且相对边为互相平行的直线边缘。

5.根据权利要求2所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板和所述第二遮光板为直角三角形，直角三角形的斜边为相对边，直角三角形的直角边与第一方向平行或垂直。

6.根据权利要求2所述的遮光结构，其特征在于，所述遮光结构还包括第一导轨组和第二导轨组，所述第一导轨组包括互相平行的第一导轨和第三导轨，所述第二导轨组包括互相平行的第二导轨和第四导轨，所述第一导轨的延伸方向和所述第二导轨的延伸方向互相垂直；

所述第一导轨设置于所述第二导轨上，所述第一遮光板设置于所述第一导轨上，所述第三导轨设置于所述第四导轨上，所述第二遮光板设置于所述第三导轨上。

7.根据权利要求1所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板组包括第一遮光板，所述第一遮光板为矩形，且所述第一遮光板的移动方向设置为与第一方向垂直。

8.根据权利要求7所述的遮光结构，其特征在于，所述遮光结构还包括第一导轨组和第二导轨组，所述第一导轨组包括第一导轨，所述第二导轨组包括第二导轨，所述第一导轨的延伸方向和所述第二导轨的延伸方向互相垂直，所述第一导轨设置于所述第二导轨上，所述第一遮光板设置于所述第一导轨上。

9.根据权利要求6或8所述的遮光结构，其特征在于，所述第一导轨或所述第二导轨的延伸方向，与第一方向平行。

10.根据权利要求1-8任一项所述的遮光结构，其特征在于，所述第二遮光板组包括第三遮光板和第四遮光板，所述第三遮光板和所述第四遮光板沿第一方向设置、且可以分别沿第一方向移动。

11.根据权利要求10所述的遮光结构，其特征在于，所述第一遮光板组和所述第二遮光板组中的所有遮光板处于同一平面。

12.一种激光设备，包括工件载板以及与所述工件载板相对设置的激光器，所述激光器形成条状光束，所述工件载板和所述激光器之间设置有遮光结构，其特征在于，所述遮光结构为权利要求1-11任一项所述的遮光结构。

13.根据权利要求12所述的激光设备，其特征在于，所述激光器或所述工件载板任一为固定设置，另一为能沿垂直于所述激光器的条状光束的延伸方向的方向往复移动。

14.根据权利要求12所述的激光设备，其特征在于，所述激光设备包括准分子激光退火设备和激光薄膜分离设备。