[发明专利]制备石墨烯玻璃的方法在审
| 申请号: | 201710914397.9 | 申请日: | 2017-09-30 |
| 公开(公告)号: | CN107500560A | 公开(公告)日: | 2017-12-22 |
| 发明(设计)人: | 邢飞;闫立群;磨玉茹;张同林 | 申请(专利权)人: | 北京碳世纪科技有限公司;邢飞 |
| 主分类号: | C03C17/22 | 分类号: | C03C17/22;C01B32/186 |
| 代理公司: | 北京惟诚致远知识产权代理事务所(普通合伙)11536 | 代理人: | 吕品 |
| 地址: | 100067 北京市丰台区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 制备 石墨 玻璃 方法 | ||
1.一种制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,包括:
步骤一、玻璃清洗,分别依次用水、乙醇、丙酮、水、异丙醇、水超声清洗玻璃,每次清洗3-5分钟,用氮气吹干;
步骤二、以所述玻璃为基底,在低压环境中,将环境温度升温至900℃-1100℃,通入还原气氛气体,随后按照流速10-200sccm通入碳源气体使石墨烯薄膜生长,一定时间后,停止通入碳源气体和还原气氛气体,环境温度自然降至室温,得到所述玻璃上的石墨烯薄膜,所述的碳源气体为甲醇气体、乙醇气体中的至少一种。
2.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述还原气氛气体为氩气和氢气的混合气,其中氢气比例为体积百分比1%-10%。
3.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述的碳源为甲醇、乙醇中的至少一种。
4.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述将环境温度升温至900℃-1100℃具体为将环境温度升温至1000℃-1050℃。
5.如权利要求3所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述碳源气体是用氩气作为载气,氩气载气的流量为10-200sccm。
6.如权利要求5所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述氩气载气的流量为100sccm。
7.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述低压环境的真空度为200-2000Pa。
8.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述一定时间为10-600min。
9.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述玻璃为石英玻璃,厚度为0.1mm-30mm。
10.一种制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,包括:
步骤一、玻璃清洗,分别依次用水、乙醇、丙酮、水、异丙醇、水超声清洗石英玻璃,每次清洗3-5分钟,用氮气吹干;
步骤二、以所述玻璃为基底,在200-2000Pa沉积环境中,将环境温度升温至900℃-1100℃的生长温度,通入还原气氛气体,随后按照流速10-200sccm通入碳源气体使石墨烯薄膜生长,沉积10-600min后,停止通入碳源气体,得到所述玻璃上的石墨烯薄膜,保持生长温度和压强,使玻璃上的石墨烯薄膜继续位于在还原气氛中,时间为30min-240min,自然降温,所述还原气氛为氩气和氢气的混合气,其中氢气比例为体积百分比1%-10%,所述碳源为甲醇或乙醇中的至少一种,用氩气作为载气。
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