[发明专利]制备石墨烯玻璃的方法在审

专利信息
申请号: 201710914397.9 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN107500560A 公开(公告)日: 2017-12-22
发明(设计)人: 邢飞;闫立群;磨玉茹;张同林 申请(专利权)人: 北京碳世纪科技有限公司;邢飞
主分类号: C03C17/22 分类号: C03C17/22;C01B32/186
代理公司: 北京惟诚致远知识产权代理事务所(普通合伙)11536 代理人: 吕品
地址: 100067 北京市丰台区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 制备 石墨 玻璃 方法
【权利要求书】:

1.一种制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,包括:

步骤一、玻璃清洗,分别依次用水、乙醇、丙酮、水、异丙醇、水超声清洗玻璃,每次清洗3-5分钟,用氮气吹干;

步骤二、以所述玻璃为基底,在低压环境中,将环境温度升温至900℃-1100℃,通入还原气氛气体,随后按照流速10-200sccm通入碳源气体使石墨烯薄膜生长,一定时间后,停止通入碳源气体和还原气氛气体,环境温度自然降至室温,得到所述玻璃上的石墨烯薄膜,所述的碳源气体为甲醇气体、乙醇气体中的至少一种。

2.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述还原气氛气体为氩气和氢气的混合气,其中氢气比例为体积百分比1%-10%。

3.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述的碳源为甲醇、乙醇中的至少一种。

4.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述将环境温度升温至900℃-1100℃具体为将环境温度升温至1000℃-1050℃。

5.如权利要求3所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述碳源气体是用氩气作为载气,氩气载气的流量为10-200sccm。

6.如权利要求5所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述氩气载气的流量为100sccm。

7.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述低压环境的真空度为200-2000Pa。

8.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述一定时间为10-600min。

9.如权利要求1所述的制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,所述玻璃为石英玻璃,厚度为0.1mm-30mm。

10.一种制备石墨烯玻璃的方法,其特征在于,包括:

步骤一、玻璃清洗,分别依次用水、乙醇、丙酮、水、异丙醇、水超声清洗石英玻璃,每次清洗3-5分钟,用氮气吹干;

步骤二、以所述玻璃为基底,在200-2000Pa沉积环境中,将环境温度升温至900℃-1100℃的生长温度,通入还原气氛气体,随后按照流速10-200sccm通入碳源气体使石墨烯薄膜生长,沉积10-600min后,停止通入碳源气体,得到所述玻璃上的石墨烯薄膜,保持生长温度和压强,使玻璃上的石墨烯薄膜继续位于在还原气氛中,时间为30min-240min,自然降温,所述还原气氛为氩气和氢气的混合气,其中氢气比例为体积百分比1%-10%,所述碳源为甲醇或乙醇中的至少一种,用氩气作为载气。

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