[发明专利]包含具有不同垂直间距的多个选择线和控制线的存储器装置有效

专利信息
申请号: 201710901715.8 申请日: 2017-09-28
公开(公告)号: CN107885668B 公开(公告)日: 2021-11-12
发明(设计)人: 作井浩司 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: G06F12/06 分类号: G06F12/06
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 路勇
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 包含 具有 不同 垂直 间距 选择 控制 存储器 装置
【说明书】:

本申请案涉及一种包含具有不同垂直间距的多个选择线和控制线的存储器装置。一些实施例包含设备和形成与操作所述设备的方法。所述设备中的一些包含包含长度的柱、位置沿着所述柱的第一片段的存储器单元串和控制线以及位置沿着所述柱的第二片段的选择线。所述控制线包含至少第一控制线和第二控制线。所述第一控制线邻近所述第二控制线。所述第一控制线与所述第二控制线在所述柱的所述长度的方向上分开第一距离。所述选择线包含至少第一选择线和第二选择线。所述第一选择线与所述第二选择线在所述柱的所述长度的所述方向上分开第二距离。所述第二距离小于所述第一距离。

技术领域

本申请案涉及存储器装置。

背景技术

存储器装置广泛地用于计算机和许多其它电子物品中来存储信息。存储器装置通常具有众多存储器单元。存储器装置执行写入操作以将信息存储在存储器单元中,执行读取操作以读取所存储的信息,和执行擦除操作以从存储器单元中的一些或全部擦除信息(例如,作废的信息)。存储器装置还具有其它组件(例如,控制线和选择线)以在读取、写入和擦除操作期间存取存储器单元。此类组件的结构可影响存储器装置的性能。如以下更详细地描述,描述的存储器装置包含允许其具有对一些常规存储器装置的改善的结构。

发明内容

在一个方面中,本申请案提供一种设备,其包括:柱,其包含长度;存储器单元串和控制线,其位置沿着所述柱的第一片段,所述控制线包含至少第一控制线和第二控制线,所述第一控制线邻近所述第二控制线且与所述第二控制线在所述柱的所述长度的方向上分开第一距离;以及选择线,其位置沿着所述柱的第二片段,所述选择线包含至少第一选择线和第二选择线,所述第一选择线与所述第二选择线在所述柱的所述长度的所述方向上分开第二距离,其中所述第二距离小于所述第一距离。

在另一方面中,本申请案提供一种设备,其包括:柱,其包含在第一方向上延伸的长度,所述柱包含第一片段、第二片段和第三片段,所述第二片段位于所述第一与第三片段之间;存储器单元串和控制线,其位置沿着所述柱的所述第一片段;选择线,其位置沿着所述柱的所述第三片段,所述选择线相互耦合;以及额外选择线,其位置沿着所述柱的所述第二片段,其中所述控制线、所述选择线和所述额外选择线包含在第二方向上延伸的相同宽度。

在另一方面中,本申请案提供一种方法,其包括:在存储器装置的操作期间将第一电压施加到所述存储器装置的第一选择线,所述第一选择线位置沿着所述存储器装置的柱的第一片段;以及在所述操作期间将第二电压施加到所述存储器装置的第二选择线和第三选择线,所述第二选择线位置沿着所述柱的第二片段,所述第三选择线位置沿着所述柱的第三片段,所述柱包含位置沿着所述柱的第四片段的存储器单元串和控制线,且所述第一片段在所述第四片段与所述第二和第三片段之间。

在另一方面中,本申请案提供一种方法,其包括:形成从导电材料区域向外延伸的柱;以及沿着所述柱的不同片段形成存储器单元串、第一控制线、第二控制线、第一选择线和第二选择线,使得所述第一控制线邻近所述第二控制线且与所述第二控制线在所述柱的长度的方向上分开第一距离,使得所述第一选择线与所述第二选择线在所述柱的所述长度的所述方向上分开第二距离,且使得所述第二距离小于所述第一距离。

附图说明

图1展示根据本文中描述的一些实施例的呈存储器装置的形式的设备的框图。

图2展示根据本文中描述的一些实施例的包含具有存储器单元串和相关联的选择电路的存储器阵列的存储器装置的一部分的框图。

图3展示根据本文中描述的一些实施例的图2的存储器装置的示意图。

图4展示根据本文中描述的一些实施例的图3的存储器装置的一部分的示意图,其包含耦合于源极与相应数据线之间的存储器单元串和选择电路。

图5展示根据本文中描述的一些实施例的漏极选择线相互耦合且源极选择线相互耦合的图4的存储器装置的部分的示意图。

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