[发明专利]探针、探针卡和接触检查装置

说明书

探针、探针卡和接触检查装置。根据本发明的探针(3)包括：探针基体(4)，其具有作为在检查时与测试对象(7)接触的部分的第一端(4a)和与触点构件(17)接触的第二端(4b)；覆盖构件(5)，其覆盖第一端(4a)与第二端(4b)之间的探针基体(4)；以及扩径部(6)，其设置在探针基体(4)的位于第二端(4b)侧的露出部(41)。通过使覆盖构件(5)的位于第一端(4a)侧的末端部(5a)压靠接触检查装置(1)的基部(37)，将探针(3)安装在弯曲变形状态。探针基体(4)的第二端(4b)通过归因于该压靠的反作用力而压靠触点构件(17)的触点(16)。

技术领域

本发明涉及探针、包括探针的探针卡和包括探针卡的接触检查装置，其中探针安装到用于例如电路板的检查的接触检查装置并通过压靠测试对象而使用。

背景技术

日本专利No.4965341是该探针的现有技术文献的示例。该文献中的图7示出了探针安装到检查装置的结构。探针在探针销的长度方向上的中央部具有绝缘覆盖构件(绝缘涂层)。为了安装，将覆盖构件的位于顶端侧的端面锁定在检查装置的支撑部中的通孔的边缘部。这里，在探针的中央部弯曲变形的情况下，探针的基端部与电极板的末端接触。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利No.4965341

发明内容

发明要解决的问题

传统的探针在执行检查时压靠测试对象。因而，中央部以覆盖构件与边缘部之间的接触位置(锁定位置)作为支点进一步弯曲变形，从而使弯曲量增大。探针的基端部通过归因于弯曲量增大的弹性与电极板的末端确定地接触。

当执行检查时，传统的探针的覆盖构件反复地受到从边缘部朝向探针的基端部的力。

然而，在传统的探针安装到检查装置时，与边缘部的接触会约束覆盖构件的位于顶端侧的端面(也就是说，与边缘部的接触会限制移动)，而覆盖构件的位于基端侧的端面不被约束(是释放的)。因此，仅覆盖构件与探针销的表面之间的附着能够使覆盖构件维持就位、抵抗在检查期间从边缘部施加到覆盖构件的朝向探针的基端部的力。

附着根据用于提供覆盖构件的方法和材料的类型而变化，并且附着不是均匀的。归因于检查，从边缘部朝向探针的基端部的力会反复地施加到覆盖构件，使得附着趋向于随时间减弱。

覆盖构件的与边缘部接触的部分特别地可能损坏，因为该部分反复地受到直接归因于检测的上述力。如果发生损坏，则可能无法维持探针的基端部与电极板的末端稳定地确定接触的状态。

在附着归因于附着的变化而变弱的情况下，覆盖构件可能会因为反复施加到覆盖构件的力而朝向探针的基端部错位。该错位会改变获得自中央部的弯曲变形的弹性的程度。因此，如果发生该错位，则可能无法维持探针的基端部与电极板的末端稳定地确定接触的状态。

本发明的目的是为了降低覆盖构件的归因于检查而被反复直接施力的部分损坏的风险、降低覆盖构件错位的风险，并由此维持探针的基端部与接触检查装置的电触点稳定接触的状态。

用于解决问题的方案

为了解决这些问题，根据本发明的第一方面的探针安装到接触检查装置并用于通过压靠测试对象而进行接触检查，其中，所述探针包括：探针基体，其具有第一端和第二端，所述第一端为与检查中设置的所述测试对象接触的部分，所述第二端与所述接触检查装置的电触点接触；以及覆盖构件，其在所述第一端与所述第二端之间覆盖所述探针基体，其中通过使所述覆盖构件的位于所述第一端所在侧的末端部压靠所述接触检查装置的基部，将所述探针安装在弯曲变形状态，通过归因于所述压靠的反作用力使所述探针基体的第二端压靠所述电触点，并且所述探针基体的位于所述第二端所在侧的、从所述覆盖构件露出的部分设置有扩径部。