[发明专利]一种多孔钛酸铜钙薄膜的制备方法

权利要求书

1.一种多孔钛酸铜钙薄膜的制备方法，其特征在于，该方法包括以下具体步骤：

a、通过物理或化学方法在衬底上覆盖一层镍酸镧LaNiO₃缓冲层，该缓冲层厚度10～30nm；

b、钛酸铜钙前驱体溶液的配置

取硝酸铜Cu(NO₃)₂、硝酸钙Ca(NO₃)₂固体按摩尔比为3︰1的比例溶入乙二醇甲醚中，在30～80℃ 水浴中加热搅拌1～6小时，使之形成均质溶液；再按照Ca︰Ti原子摩尔比1︰4的比例量取钛酸丁酯和相同摩尔数的乙酰丙酮加入溶液，在30～80℃水浴中搅拌加热1～8小时，使之形成均质溶液，最终配成浓度0.01～0.1mol/L的钛酸铜钙前驱体溶液；

c、制备多孔钛酸铜钙薄膜

采用旋转涂膜或提拉涂膜方式，在带有镍酸镧缓冲层的衬底上涂覆钛酸铜钙前驱体溶液，获得钛酸铜钙湿膜；在快速退火炉中进行三段式热处理：第一段，温度140～200℃ 时长180～360秒；第二段，温度360～420℃ 时长180～360秒；第三段，温度650～850℃ 时长180～600秒，获得一层所述多孔钛酸铜钙薄膜，重复所述涂覆-热处理过程，获得多层钛酸铜钙多孔薄膜；其孔径范围在40～200nm之间。