[发明专利]坩埚加热装置

说明书

本发明提供一种坩埚加热装置，包括容纳壳体、开合盖和第一加热件，所述开合盖设置在所述容纳壳体上方，且具有闭合态和敞开态，处于闭合态的开合盖与所述容纳壳体围成加热腔，该加热腔用于容纳坩埚；所述坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体上方的喷嘴；所述第一加热件位于所述加热腔内，用于对该加热腔中的坩埚的坩埚本体进行加热，开合盖上设置有通孔，所述开合盖处于闭合态时，所述加热腔内的坩埚的喷嘴位于所述通孔内；所述通孔内设置有第二加热件，该第二加热件用于对处于所述通孔内的喷嘴加热。本发明能够减少坩埚喷嘴的堵塞现象。

技术领域

本发明涉及蒸镀工艺技术领域，具体涉及一种坩埚加热装置。

背景技术

在蒸镀工艺中，利用坩埚加热装置对坩埚进行加热，从而使得坩埚内的材料汽化。如图1所示，现有技术中的坩埚加热装置包括容纳槽1，用于容纳多个坩埚3，容纳槽1上方设置有盖板2，盖板2可以打开和关闭。坩埚3包括坩埚本体3a、设置在坩埚本体3a上的坩埚盖3b、设置在该坩埚盖3b上的喷嘴3c。盖板2上设置有通孔2a，当盖板2关闭时，坩埚3的喷嘴3c位于通孔2a中。容纳槽内设置有用于对坩埚本体3a进行加热的加热件4，从而使得坩埚本体3a内的材料汽化，进而从喷嘴3c中逸出。

但是，这种加热方式使得坩埚本体的温度较高，而坩埚盖和喷嘴的温度较低，从而容易导致喷嘴堵塞的现象，严重影响生产。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种坩埚加热装置，以减少坩埚喷嘴的堵塞现象。

为了解决上述技术问题之一，本发明提供一种坩埚加热装置，包括容纳壳体、开合盖和第一加热件，所述开合盖设置在所述容纳壳体上方，且具有闭合态和敞开态，处于闭合态的开合盖与所述容纳壳体围成加热腔，该加热腔用于容纳坩埚；所述坩埚包括坩埚本体和设置在坩埚本体上方的喷嘴；所述第一加热件位于所述加热腔内，用于对该加热腔中坩埚的坩埚本体进行加热，所述开合盖上设置有通孔，所述开合盖处于闭合态时，所述加热腔内的坩埚的喷嘴位于所述通孔内；所述通孔内设置有第二加热件，该第二加热件用于对处于所述通孔内的喷嘴加热。

优选地，所述坩埚加热装置还包括温度检测机构，用于检测位于所述通孔中的各个喷嘴的温度。

优选地，所述坩埚加热装置还包括控制机构，所述控制机构与所述温度检测机构和所述第二加热件相连，用于根据所述通孔中的各个喷嘴的温度控制所述第二加热件的加热温度。

优选地，所述坩埚为条形坩埚，每个坩埚包括沿所述坩埚长度方向排列的多个喷嘴，每个喷嘴均对应一个通孔，不同喷嘴对应不同的通孔；同一坩埚的多个喷嘴所对应的通孔中第二加热件相互连接；

所述温度检测结构包括热电偶，位于加热腔中的每个坩埚的至少一个喷嘴所对应的通孔内设置有所述热电偶。

优选地，所述坩埚还包括设置在所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；

所述开合盖的用于与所述容纳壳体底壁相对的表面上设置有第三加热件；所述开合盖处于闭合态时，所述第三加热件位于所述加热腔中坩埚的坩埚盖顶面上。

优选地，所述坩埚还包括设置在所述坩埚本体上方的坩埚盖，所述喷嘴设置在所述坩埚盖上；

所述第一加热件包括第一加热部和第二加热部，所述第一加热部设置在所述容纳壳体上，所述第二加热部设置在所述开合盖上；所述开合盖处于闭合态时，第一加热部环绕加热腔中坩埚的坩埚本体的一部分，第二加热部环绕所述坩埚的坩埚本体的另一部分和所述坩埚的坩埚盖；所述第一加热部和所述第二加热部能够独立控制。

优选地，处于闭合态的开合盖形成开口向下的槽型结构，所述通孔设置在所述槽型结构的顶壁上；所述第二加热部的高度与所述槽型结构的深度一致。