[发明专利]一种迷你型微机电可调光衰减器

权利要求书

1.一种迷你型微机电可调光衰减器，包括TO管座和MEMS芯片，MEMS芯片设置在TO管座上，TO管座包括金属台和插针，金属台设置有通孔，插针包括第一插针和第二插针；第一插针与金属台的下端连接，第二插针穿过所述通孔，且在第二插针与所述通孔之间填充有绝缘材料；其特征在于，第二插针包括上段部和下段部，下段部的中心轴与上段部的中心轴偏离。

2.如权利要求1所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，下段部的中心轴与所述通孔的中心轴重合，上段部的中心轴与所述通孔的中心轴偏离。

3.如权利要求2所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，上段部的中心轴朝远离金属台的中心点的方向偏离。

4.如权利要求3所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，还包括管帽、连接套筒、光纤准直器以及外封管；TO管座与管帽连接，光纤准直器位于管帽的前方，连接套筒一端将管帽套住，另一端将光纤准直器套住，外封管将TO管座、MEMS芯片、管帽、连接套筒、光纤准直器封装在其内部。

5.如权利要求4所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，管帽前端开设有窗口，窗口上设置有透明窗片，光纤准直器位于窗口的正前方。

6.如权利要求5所述的一种迷你型微机电可调光衰减器，其特征在于，所述透明窗片为玻璃窗片。