[发明专利]铁-镍合金箔及其制造方法

说明书

本发明涉及铁‑镍(Fe‑Ni)合金箔，更详细而言，涉及一种适合用于有机发光二极管(OLED)材料的铁‑镍合金箔及其制造方法。

技术领域

本发明涉及铁-镍(Fe-Ni)合金箔，更详细而言，涉及一种适合用于有机发光二极管(OLED)材料的铁-镍合金箔及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode，OLED)在当前显示装置市场中作为能够替代LCD(Liquid Crystal Display，液晶显示)的新一代显示装置而倍受瞩目。

OLED可以自行发出光和颜色，调节光的量，具有耗电少、响应速度快、几乎无残像的优点。另外，色感逼真明亮，视野角宽。

由于这种优点，OLED显示装置产业最近正致力于汽车、移动设备及TV市场。

制造OLED显示装置时使用的由RGB次像素(RGB Sub-Pixel)构成的全彩色(Fullcolor)元件在高温的蒸镀设备中进行制作。所述蒸镀设备由基板、蒸镀掩模、框架等构成，由于蒸镀工序在高温下进行，因而受到温度的影响，由于热膨胀系数导致的尺寸变化而发生位置差异。因此，存在附着于基板上的蒸镀材料的位置、尺寸精密度低下的问题。所以，为了掩模的正确位置控制、防止热膨胀及满足掩模和基板的精密度，必须选择与基板的热膨胀系数同等水平的掩模及框架材料。

另一方面，作为所述蒸镀掩模的材料，主要使用铁-镍(Fe-Ni)合金系的因瓦合金(Fe-36％Ni)。通过现有轧制(rolling)工序制造的因瓦合金，在表面粗糙度控制(凸起、孔洞)及厚度控制方面存在困难，因此，存在元件的特性低下，制造收率显著降低的问题。不仅如此，制造极薄制品(18μm以下)时，存在杂质导致的表面不良和制造费用上升的缺点。

如此通过轧制工序制造的铁-镍合金箔的热膨胀系数状态如图1所示。

因此，作为能够替代轧制工序的方法，通过电铸法(electroforming)制造铁-镍合金箔。

电铸法是一种通过供液喷嘴向被电解槽内设置的旋转的圆筒形阴极鼓和与之对置的一对圆弧形状的阳极包围的缝隙供应电解液并通入电流，从而使Fe-Ni系合金在所述阴极鼓的表面电沉积，将其卷取而制成金属箔的方法。根据这种电铸法而制造的Fe-Ni系合金金属箔具有平均晶粒大小微细、机械物性优异的优点，而且，以低廉的制造费用便能够制造，具有制造成本低的优点。

可是发现，即使根据电铸法来制造铁-镍合金箔，根据所述合金箔的结晶结构，热膨胀系数极大变化，也存在OLED制品性能低的可能。

因此，在根据电铸法制造铁-镍合金箔时，要求制造一种具有能够减小热膨胀系数的结晶结构的OLED用铁-镍合金箔。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：韩国公开专利第2016-0077575号

发明内容

本发明的一个方面针对提供OLED用铁-镍合金箔，旨在提供一种能够通过具有特定结晶结构而有效减小热膨胀系数的铁-镍合金箔及制造其的方法。

本发明的一个方面提供一种铁-镍合金箔，其特征在于，是以电铸法制造的铁-镍合金箔，

镍的含量为36～45重量％，其余包含铁(Fe)和不可避免的杂质，