[发明专利]线宽测量装置及方法

权利要求书

1.一种线宽测量装置，其特征在于，所述线宽测量装置包括光源、第一光路、第二光路、第三光路、第四光路、第一检测单元及第二检测单元；其中，

所述光源发出的检测光经过所述第一光路后照射到一检测对象上形成第一信号光，所述第一信号光经过所述第二光路后照射到所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像；

所述光源发出的检测光经过所述第三光路后照射到所述检测对象上形成第二信号光，所述第二信号光经过所述第四光路后照射到所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布；

所述线宽测量装置通过获取一运动台上的标准基准板的图像在预设灰度值下对应的所述光源的第一电压、所述运动台上的透明的玻璃基板上的检测标记的光强分布、所述标准基准板的光强分布、所述运动台所在的底座的光强分布计算得出所述光源的第二电压，所述第二电压使所述第一检测单元形成的图像的灰度值满足控制要求，并调整所述光源的电压为所述第二电压。

2.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光。

3.如权利要求2所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第一透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。

4.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第三光路上依次设置有第四镜组、第二透反棱镜和第五镜组，所述光源发出的检测光至所述第四镜组后形成平行的检测光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第五镜组，所述第五镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光。

5.如权利要求4所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第四光路上依次设置有第五镜组和第二透反棱镜，所述第二信号光经过所述第五镜组以形成平行的第二信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第二信号光反射至所述第二检测单元，所述第二检测单元根据所述第二信号光得到所述检测对象的光强分布。

6.如权利要求1所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第一光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第一信号光。

7.如权利要求6所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第二光路上依次设置有第二镜组、第二透反棱镜、第三透反棱镜和第三镜组，所述第一信号光经过所述第二镜组以形成平行的第一信号光，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第一透反棱镜，再由所述第一透反棱镜将所述平行的第一信号光透射至所述第三镜组，所述第三镜组将所述平行的第一信号光汇聚至所述第一检测单元，所述第一检测单元根据所述第一信号光得到所述检测对象的图像。

8.如权利要求6所述的线宽测量装置，其特征在于，所述第三光路上依次设置有第一镜组、第一透反棱镜、第二透反棱镜和第二镜组，所述光源发出的检测光至所述第一镜组后形成平行的检测光，再由所述第一透反棱镜将所述平行的检测光反射至所述第二透反棱镜，再由所述第二透反棱镜将所述平行的第一检测光透射至所述第二镜组，所述第二镜组将所述平行的检测光汇聚到所述检测对象上形成第二信号光。