[发明专利]非接触驱动模块和具有该模块的输送装置

说明书

输送装置包括彼此平行延伸的导轨、配置成可沿导轨移动的运输工具和安装在运输工具上的非接触驱动模块。该非接触驱动模块包括：一对运行轨道，其与导轨平行延伸且分别包括设置在延伸方向上的多个第一永磁体和多个第二永磁体；驱动轮，其设置在运行轨道之间与运行轨道相间隔，且包括设置在圆周方向上的多个第三永磁体；和驱动单元，其用于转动所述驱动轮。尤其地，第三永磁体中的至少一个设置在第一永磁体和第二永磁体之间。

技术领域

本发明涉及非接触驱动模块和具有该模块的输送装置。更具体地，本发明涉及配置成使用永磁铁之间的磁力以非接触的方式可移动的非接触驱动模块和具有该模块的输送装置。

背景技术

用于存储半导体晶片的存储容器，如前开口标准箱(FOUP)和前开口运输箱(FOSB)在半导体制备工艺中可通过如高架提升运输(OHT)和有轨制导车辆(RGV)等输送装置运输。

输送装置可沿设置在净室天花板或底板上的运行轨道移动且包括多个运行车轮和用于转动该运行车轮的驱动单元。近年来，随着半导体装置的集成程度增加，有必要保持净室的高度洁净。因此，由运行轨道和运行轮之间的摩擦产生的颗粒作为保持净室的洁净的主要目标引起了关注。

发明内容

本公开提供一种可减少颗粒的非接触驱动模块和包括该非接触驱动模块的输送装置。

根据本公开的一个方面，非接触驱动模块可包括一对运行轨道、驱动轮和驱动单元，该运行轨道相互平行延伸且包括多个第一永磁体和多个第二永磁体，第一永磁体和第二永磁体分别设置在延伸方向上，驱动轮设置在运行轨道之间与运行轨道相间隔且包括多个第三永磁体，第三永磁体设置成圆周方向，且驱动单元用于转动驱动轮。在此，至少一个第三永磁体可设置在第一永磁体和第二永磁体之间。

根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可如此设置以使N极和S极设置在延伸方向上且相同极性的极在延伸方向彼此相向。

根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可如此设置以使N极和S极设置在与延伸方向垂直的方向上，且极性在延伸方向上变换。

根据一些示范实施例，第一和第二永磁体可设置成Halbach阵列。

根据一些示范实施例，第一永磁体的N极和S极可如此设置以与第二永磁体的N极和S极在第二方向上分别相向。

根据一些示范实施例，第一永磁体的N极和S极可如此设置以与第二永磁体的S极和N极在第二方向上分别相向。

根据一些示范实施例，第三永磁体可设置成Halbach阵列。

根据一些示范实施例，驱动轮还可包括多个第四永磁体，其周向设置成Halbach阵列，且第三和第四永磁体可设置在驱动轮的两侧以分别与第一和第二永磁体相向。

根据一些示范实施例，第三永磁体可如此设置以使N极和S极设置在圆周方向上且相同极性的极在周向上彼此相向。

根据一些示范实施例，第三永磁体可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上且极性在周向上变换。

根据一些示范实施例，驱动轮还可包括多个第四永磁体，其周向设置，第四永磁体可如此设置以使N极和S极设置在第二方向上且极性在周向上变换，且第三和第四永磁体可设置在驱动轮的两侧以分别与第一和第二永磁体相向。

根据一些示范实施例，第一和第二永磁体在延伸方向上的节距可与第三永磁体在周向上的节距相同。