[发明专利]锭块压紧设备和包括锭块压紧设备的锭块切片设备

说明书

一种锭块切片设备的压头，包括：头部主体，其中形成构造为供应压缩空气的多个气动供应端口，以便分开控制压头各部分上的压力；压紧单元，安装在头部主体的下端上，定位为对应各气动供应端口，并且各自构造为由经过各气动供应端口供应的压缩空气施加压力到锭块的侧表面；气动校正单元，各自安装在各压紧单元的下表面上并且构造为控制多个压紧单元之间的压力偏差；粘合板，安装为与气动校正单元的下侧表面接触，以使得粘合板的下表面直接接触并压紧锭块的侧表面；和联接支承单元，构造为联接并支承头部主体、压紧单元、气动校正单元和粘合板。

相关申请的交叉引用

本申请要求2016年11月23日提交的韩国专利申请第10-2016-0156597的优先权，其以参见的方式纳入本文。

技术领域

本实施例涉及一种锭块压紧设备和包括锭块压紧设备的锭块切片设备。

背景技术

通常，在晶片制造过程中，执行切片工序，以将在晶体生长过程中生长成晶片形状的锭块切片，而线锯切割工序是典型的切片工序。

通过线锯切割工序，可提升晶片的平面化程度，并且更具体地，可以控制晶片的翘曲(弯曲和顺弯)程度。

线锯切割工序是锭块与锯丝接触并且将锭块切片为具有多个晶片形式的工序。

在线锯切割工序中使用的线锯切割设备设有构造为支承锭块的板和锯丝卷绕在其上的辊子。

因而，在线锯切割工序中，通过将支承锭块的板沿锯丝卷绕在辊子上的方向相对移动，将锭块切片为具有晶片形式。

在通过线锯切割将锭块切片的工序中，切片的晶片的质量可由锭块自身的热膨胀、在切片工序中供应到锯丝的浆液、转动锯丝卷绕在其上的辊子使得锯丝往复运动的心轴和保持锭块的板的热膨胀确定。

图1是示出根据传统技术的线锯切割设备的图，图2是示出根据传统技术的锭块切片形状的图。

根据传统技术的线锯切割设备101包括用于切片锭块的锯丝102、锯丝102缠绕在其上的辊子103(锯丝引导件)、用于施加张力到锯丝102的张力施加单元104、移动待切片的锭块的锭块运输单元105、当将锭块切片时供应浆液的浆液供应单元106。

连续地从锯丝卷轴107馈送锯丝102，锯丝102经过包括粉末离合器(恒转矩电动机109)、浮动辊子(自重)等的张力施加单元104，并且卷绕在辊子103上，其中横向件108布置在锯丝卷轴107与张力施加单元104之间。在锯丝102卷绕在辊子103上大约300至400次后，锯丝102通过张力施加单元104’并且卷绕在锯丝卷轴107’上。

此外，开槽辊子103是在其中施加聚氨酯树脂在钢圆筒体周围，并且在其表面上形成具有固定节距的凹槽的辊子，并且卷绕的锯丝102可在由驱动电动机110确定的周期中沿往复的方向被驱动。

此外，当锭块被切片时，可由锭块运输单元105将锭块朝向卷绕在辊子103上的锯丝102移动。

此外，喷嘴105可安装在卷绕在辊子103上的锯丝102附近，并且当将锭块切片时，该喷嘴可从浆液箱116供应浆液到辊子103和锯丝102上。此外，浆液冷却器117可连接到浆液箱116，以使得供应的浆液的温度可控。

通过使用线锯切割设备101，使用张力施加单元104施加合适的张力到锯丝102上，并且驱动电动机110使锯丝102沿往复方向移动以切片锭块。

当执行切片工序时，支承锭块的框架、锭块和辊子部分由于切片热量而发生膨胀。因为正被切片的锭块的尾部和种的各侧面由于在每个上述部分处发生的热膨胀而形变，存在晶片的平面化程度降低并且晶片的切片表面的形状不统一的问题。

发明内容