[发明专利]一种光波导芯体晶圆及光波导芯体及其制备方法

权利要求书

1.一种光波导芯体晶圆，其特征在于：包括多个分路器芯片、多个输入光纤芯片和多个输出光纤芯片，所述光波导芯体晶圆中，以输入光纤芯片、分路器芯片和输出光纤芯片为周期排列分布，同一周期内输入光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输入端，同一周期内输出光纤芯片连接在该周期内分路器芯片的输出端，且同一周期内的分路器芯片、输入光纤芯片和输出光纤芯片为一体式结构。

2.根据权利要求1所述的光波导芯体晶圆，其特征在于：所述输入光纤芯片和输出光纤芯片上均开设有切割平面，所述切割平面倾斜朝外。

3.根据权利要求2所述的光波导芯体晶圆，其特征在于：所述切割平面与分路器芯片的底面的夹角为8°。

4.一种使用如权利要求1-3所述的光波导芯体晶圆制备的光波导芯体，其特征在于：包括输入光纤和输出光纤，输入光纤通过输入光纤芯片插接在分路器芯片的输入端，输出光纤通过输出光纤芯片插接在分路器芯片的输出端。

5.根据权利要求4所述的光波导芯体，其特征在于：所述分路器芯片上表面设置有覆层，输入光纤通过覆层固定在输入光纤芯片中，输出光纤通过覆层固定在输出光纤芯片中。

6.一种如权利要求4-5所述的光波导芯体的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：

步骤①：制备一体式的光波导芯体晶圆；

步骤②：对光波导芯体晶圆进行抛光切割成粒形成光波导芯体；

步骤③：对光波导芯体进行测量校准；

步骤④：对输入光纤和输出光纤进行抛光；

步骤⑤：将抛光后的输入光纤插入输入光纤芯片中，将抛光后的输出光纤插入输出光纤芯片中；

步骤⑥：将覆层盖至光波导芯体上固定输入光纤和输出光纤。

7.根据权利要求6所述的光波导芯体的制备方法，其特征在于：步骤①中，对分路器芯片的输入端和输出端进行切割，使得分路器芯片的输入端形成输入光纤芯片，分路器芯片的输出端形成输出光纤芯片。

8.根据权利要求6或7所述的光波导芯体的制备方法，其特征在于：步骤⑥中，覆层通过胶水对输入光纤和输出光纤进行固定。