[发明专利]化学品自动供给装置以及化学品自动供给装置的控制方法

说明书

本发明的目的在于提供一种化学品自动供给装置以及化学品自动供给装置的控制方法，当公接头与母接头结合时即使产生偏心也使接头能够自由移动，防止公接头与母接头的密封部受力过多。为体现此目的的本发明化学品自动供给装置，包括：搁置部，搁置软管，软管连接化学品罐和化学品储罐之间，利用公接头与母接头结合从一侧向另一侧供给化学品；传送单元，上述软管加载到上述搁置部上前后方向传送，使上述公接头与母接头结合；游动支撑部，当上述公接头与母接头结合时可游动上述搁置部，由上述传送单元传送时，为固定上述搁置部支撑搁置部；控制部，控制上述游动支撑部动作状态，以保持搁置部的可游动状态或固定状态。

技术领域

本发明涉及一种化学品自动供给装置及其控制方法，更详细，当供化学品的公接头与母接头结合时，不会给接头密封部施加过多的压力。

背景技术

一般制造半导体、半导体装置、LCD、OLED的公司和制药公司及油漆公司等使用有害化学物质的所有公司都在使用多种多样的化学品，安全供给这种化学品的方式也变得多样化。

这种化学品一般从建筑物外停的罐车(tank lorry)的化学品罐输送到建筑物内设的化学品储罐(chemical storage tank)后，从化学品储罐再输送到单位工程进行腔。

从上述罐车输送化学品到化学品储罐的现有方法，使用了操作人员手动连接供给化学品的软管和接头的方法，以下对此详细说明。

上述罐车上连接了供化学品软管和供氮气软管，上述化学品软管和氮气软管端部各连接化学品用公接头(Male Connector)和氮气用公接头，上述各个公接头上备有盖(Cap)封闭其开放端部。

并且，上述化学品储罐上具备化学品用母接头(Female Connector)和氮气用母接头，各自插入化学品用公接头和氮气用公接头。上述化学品用母接头及氮气用母接头上也各备有盖(Cap)封闭开放端部。

操作人员从上述罐车拉出化学品软管和氮气软管，把化学品用公接头盖和氮气用公接头盖、化学品用母接头盖和氮气用母接头盖去除。其后，把化学品用公接头连接到化学品用母接头上，氮气用公接头连接到氮气用母接头上。

如上在公接头和母接头结合的状态下，通过氮气软管从位于建筑物内的氮气储罐向罐车供给定压氮气，罐车内化学品因氮气压力，通过化学品软管向化学品储罐传送。

但是，根据这种现有方法，操作人员手动连接/分离化学品用及氮气用接头，供给定压氮气时，存在化学品外泄的可能性，操作人员也会暴露在化学品。

化学品供给装置的现有技术，已有韩国实用新型公开第二0-2016-0002378号公开。

上述现有技术中，罐车与化学品储罐之间设置了化学品中介手段叫ACQC单元(Automatic Clean Quick Coupler Unit)。在此，化学品储罐一般设置在建筑物内，ACQC单元在罐车的化学品罐与建筑物内的化学品储罐之间起中介作用。

根据上述现有ACQC单元，连接化学品公接头与母接头并连接氮气公接头与母接头状态下，经过上述ACQC单元向罐车化学品罐供给定压氮气，利用供给的氮气气压，导出化学品，经化学品软管储存到化学品储罐中。

此时，可使用公接头与母接头自动结合的装置。当上述公接头与母接头由自动结合装置结合时，可能会因机器问题出现中心不一致产生偏心。并且，因偏心问题，公接头与母接头密封部会长时间受力过多，引起密封部破损会导致化学品或氮气泄漏。

先行技术文献

专利文献

韩国实用新型公开第二0-2016-0002378号

发明内容