[发明专利]化学品自动供给装置以及化学品自动供给装置的控制方法

权利要求书

1.一种化学品自动供给装置，其特征在于，包括：

总搁置部(150)，搁置软管，软管连接化学品罐和化学品储罐之间，利用公接头与母接头结合从一侧向另一侧供给化学品；

传送单元(160)，在将所述软管加载到所述总搁置部(150)上的状态下沿前后方向传送，使所述公接头与母接头结合；

游动支撑部(110)，当所述公接头与母接头结合时使所述总搁置部(150)可游动，从而在结合于所述软管的端部的所述公接头能够在平行于所述传送单元(160)传送方向的平面上自由移动的状态下进行所述化学品的移送，并且在由所述传送单元(160)传送时，为固定所述总搁置部(150)支撑所述总搁置部(150)；

控制部，控制所述游动支撑部(110)动作状态，以保持所述总搁置部(150)的可游动状态或固定状态。

2.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述软管由输送所述化学品的化学品软管(500)和给所述化学品罐供氮气的氮气软管(600)构成；

所述总搁置部(150)由搁置所述化学品软管(500)的化学品用搁置部(150-1)和搁置所述氮气软管(600)的氮气用搁置部(150-2)构成。

3.根据权利要求2的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述游动支撑部(110)由支撑所述化学品用搁置部(150-1)下部的化学品用游动支撑部(110-1)和支撑所述氮气用搁置部(150-2)下部的氮气用游动支撑部(110-2)构成。

4.根据权利要求3的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述传送单元(160)由以下结构构成：第一台架(161)，上部加载所述总搁置部(150)；第一台架驱动部(162)，把所述总搁置部(150)在所述第一台架(161)上沿前后方向传送；第二台架(163)，支撑所述第一台架(161)在上部加载状态下沿前后方向传送；第二台架驱动部(164)，把所述第一台架(161)和总搁置部(150)在所述第二台架(163)上沿前后方向传送。

5.根据权利要求4的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述第一台架(161)由设置在所述化学品用搁置部(150-1)上部的第一化学品用台架(161-1)和设置在所述氮气用搁置部(150-2)上部的第一氮气用台架(161-2)构成；

所述第一台架驱动部(162)由把所述化学品用搁置部(150-1)沿前后方向传送的第一化学品用驱动部(162-1)和把所述氮气用搁置部(150-2)沿前后方向传送的第一氮气用驱动部(162-2)构成。

6.根据权利要求5的化学品自动供给装置，其特征在于，

设置中间台架(165)，所述第一化学品用驱动部(162-1)与第一氮气用驱动部(162-2)固定在所述中间台架(165)的两侧上部，所述中间台架(165)借由所述第二台架驱动部(164)而在所述第二台架(163)上沿前后方向传送；

所述中间台架(165)上设置所述化学品用游动支撑部(110-1)和氮气用游动支撑部(110-2)。

7.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

所述游动支撑部(110)由支撑所述总搁置部(150)下部的支撑板(114)、与所述支撑板(114)结合成一体的中心构件(113)、当所述中心构件(113)游动时一个伸张并另一个压缩的一侧与所述中心构件(113)结合的至少一对弹簧(115，116)、用于向内部空间(117)注入气体的注气口(111)、用于排出所述内部空间(117)的气体的排气口(112)构成；

当定压气体注入到所述内部空间(117)时，所述中心构件(113)和支撑板(114)被固定，当所述内部空间(117)的气体由排气口(112)排出时，所述中心构件(113)与支撑板(114)能够游动。

8.根据权利要求1的化学品自动供给装置，其特征在于，

还包括：排位构件(120)，使所述总搁置部(150)在指定位置排位。