[发明专利]除泡装置有效
| 申请号: | 201710735321.X | 申请日: | 2017-08-24 |
| 公开(公告)号: | CN107329294B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
| 发明(设计)人: | 蔡丰豪 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
| 代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
| 地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 装置 | ||
1.一种除泡装置,其特征在于,包括第一转轴、连接轴、第二转轴、设于所述第二转轴上的承载板、设于所述承载板上的真空管和加热板,所述连接轴连接于所述第一转轴和所述第二转轴之间,所述承载板上设有与所述真空管连通的真空通道,所述加热板上设有与所述真空通道连通的多个通孔,所述真空管用于与真空泵连接后将工件吸附于所述加热板的表面,所述第一转轴与所述加热板平行,所述第一转轴在转动时带动所述承载板水平转动;在所述承载板水平转动过程中会产生一个垂直于工件表面的离心力F,所述承载板还会对工件产生一个垂直于工件并指向所述第一转轴的支撑力,所述支撑力的方向与离心力F的方向相反,通过所述支撑力与离心力F的共同作用对工件施加压力,以实现高温高压除泡。
2.根据权利要求1所述的除泡装置,其特征在于,所述承载板上设有用于收容所述加热板的收容孔,所述收容孔与所述真空管道连通。
3.根据权利要求2所述的除泡装置,其特征在于,所述加热板的表面与所述承载板的表面平齐。
4.根据权利要求1所述的除泡装置,其特征在于,所述连接轴的数量为两个,所述第二转轴的一端与两个所述连接轴中的一个连接、另一端贯穿所述承载板与两个所述连接轴中的另一个连接。
5.根据权利要求4所述的除泡装置,其特征在于,还包括设于所述第一转轴上的支撑轴,所述支撑轴与所述第一转轴垂直,所述支撑轴与所述第二转轴平行,两个所述连接轴分别与所述支撑轴的两端连接。
6.根据权利要求5所述的除泡装置,其特征在于,两个所述连接轴分别与所述支撑轴和所述第一转轴垂直。
7.根据权利要求1所述的除泡装置,其特征在于,还包括与所述第一转轴连接的第一电机。
8.根据权利要求7所述的除泡装置,其特征在于,还包括与所述第二转轴连接的第二电机,所述第二电机的转动方向与所述第一电机的转动方向垂直。
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