[发明专利]彩膜基板修补装置和方法

权利要求书

1.一种彩膜基板修补装置，其特征在于，该修补装置包括：

检测器、研磨器和控制器，所述检测器还包括激光发射单元和激光接收单元，其中，

所述研磨器用于研磨所述彩膜基板的缺陷凸起；

所述检测器用于检测彩膜基板的缺陷凸起的高度，以及当高度大于制程要求高度的缺陷凸起经研磨后小于制程要求高度时产生检测信号；以及

所述控制器用于在所述缺陷凸起的高度大于所述彩膜基板的制程要求高度时，控制所述研磨器对所述缺陷凸起进行研磨；以及

在接收到所述检测信号时，控制研磨器停止研磨；

所述控制器还用于：

控制所述激光发射单元和所述激光接收单元移动，使所述激光发射单元发出的激光在所述彩膜基板的制程要求高度，所述缺陷凸起使所述激光接收单元无法接收到所述激光发射单元发出的激光；

计算所述缺陷凸起的高度与所述彩膜基板的制程要求高度的高度差；

控制所述激光发射单元和所述激光接收单元从所述缺陷凸起的高度向所述彩膜基板的方向移动所述高度差以使所述激光发射单元发出的激光在所述彩膜基板的制程要求高度；以及

通过所述研磨器进行研磨，在所述激光接收单元接收到所述激光时，控制所述研磨器停止研磨。

2.根据权利要求1所述的彩膜基板修补装置，其特征在于，所述检测器还包括：

位移检测单元，用于检测所述激光发射单元和所述激光接收单元的位移，以便所述控制器监控所述激光发射单元和所述激光接收单元是否移动到位。

3.根据权利要求1所述的彩膜基板修补装置，其特征在于，所述控制器还包括：

校正单元，用于校正所述激光发射单元和所述激光接收单元，使所述激光发射单元和所述激光接收单元位于同一水平高度，并且所述激光发射单元发射的激光与所述彩膜基板平行。

4.一种彩膜基板修补方法，其特征在于，该修补方法包括：

检测彩膜基板的缺陷凸起的高度；

在所述缺陷凸起的高度大于所述彩膜基板的制程要求高度时，对所述缺陷凸起进行研磨；

当高度大于制程要求高度的缺陷凸起经研磨后小于制程要求高度时，使用激光发射单元和激光接收单元产生检测信号；以及

响应于所述检测信号，停止研磨；

其中，所述对所述缺陷凸起进行研磨包括：

控制所述激光发射单元和所述激光接收单元移动，使所述激光发射单元发出的激光在所述彩膜基板的制程要求高度，所述缺陷凸起使所述激光接收单元无法接收到所述激光发射单元发出的激光；以及

对所述缺陷凸起进行研磨。

5.根据权利要求4所述的彩膜基板修补方法，其特征在于，所述当高度大于制程要求高度的缺陷凸起经研磨后小于制程要求高度时产生检测信号包括：

通过研磨，在所述激光接收单元接收到所述激光时产生所述检测信号。

6.根据权利要求4所述的彩膜基板修补方法，其特征在于，所述控制所述激光发射单元和所述激光接收单元移动，使所述激光发射单元在所述彩膜基板的制程要求高度发出激光包括：

计算所述缺陷凸起的高度与所述彩膜基板的制程要求高度的高度差；

控制所述激光发射单元和所述激光接收单元从所述缺陷凸起的高度向所述彩膜基板的方向移动所述高度差以使所述激光发射单元发出的激光在所述彩膜基板的制程要求高度。

7.根据权利要求4所述的彩膜基板修补方法，其特征在于，该修补方法还包括：

校正所述激光发射单元和所述激光接收单元，使所述激光发射单元和所述激光接收单元位于同一水平高度，并且所述激光发射单元发射的激光与所述彩膜基板平行。