[发明专利]一种膜表面缺陷检测装置及其检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种膜表面缺陷检测装置及其检测方法，具体涉及一种利用明暗场光源进行膜表面缺陷检测的装置及方法。

背景技术

OLED柔性屏采用柔性材料作为基板, 此基板为一层很薄的膜, 此膜表面非常小的突起都会对后续工艺产生影响, 导致良率下降, 因此需要将其检测并识别出来。现有检测技术分为高速平面检测和低速立体检测，先用高速平面检测将疑似缺陷检测出来，再用低速立体检测识别出来真实缺陷，效率较低，无法满足产业需求。

现有已公开中国发明专利申请号201510412058.1，公开了一种OLED基板蒸镀结构以及OLED掩膜缺陷检测方法，该结构包括：基板；贴合于基板表面的掩膜；以及设置于所述基板和所述掩膜之间的压电感测薄膜。该发明的OLED基板蒸镀结构可以在对基板蒸镀之前发现掩膜存在的缺陷。这种提前检测的方式可以避免在制作出成品之后发现掩膜存在的问题，从而产品的稳定性以及良率。

然而上述专利技术中需要特别设立压电感测薄膜，提高了检测成本，也是当前需要克服的问题。

另外，本申请人的已公开中国发明专利申请号201510320557.8公开了一种玻璃表面缺陷增强装置及其监测方法，公开了一种玻璃表面缺陷增强检测装置，包括明场照明光路、暗场照明光路、扫描成像镜头、线阵图像传感器。被测玻璃经进料传送带输送到运动台，依次开启明场线光源，扫描成像镜头、线阵图像传感器进行明场成像；随后关闭明场线光源，激光器发出激光经鲍威尔棱镜、准直器变换为线光源，扫描成像镜头、线阵图像传感器进行暗场成像；明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，提高对不良品的检出效果，提高产品的质量。

然而，上述方法不能简单的转用到膜表面缺陷检测上，需要对具体的元件设置和检测方法进行进一步的改进。

发明内容

为解决以上问题，本发明结合亮场和暗场侧光的特性，采用两者的混合照明，实现对OLED柔性膜表面小突起的快速检测和识别。

具体的，根据本发明的一个方面，提供了一种膜表面缺陷检测装置，所述装置包括：暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机；其中，成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方，成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间；亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧，全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。

优选的，所述半反半透镜与水平方向呈45度角放置。

优选的，所述暗场照明光路从下到上包括暗场聚焦透镜、导光板、暗场线光源，导光板和暗场线光源位于暗场聚焦透镜的焦平面上，所述暗场聚焦透镜的焦平面与水平方向呈锐角放置。

更优选的，所述锐角为45度或60度。

优选的，所述亮场照明光路包括亮场聚焦透镜和亮场线光源，其中亮场聚焦透镜位于亮场线光源和半反半透镜之间。

根据本发明的另一个方面，还提供了一种使用如上所述膜表面缺陷检测装置的检测方法，包括如下步骤：

a.被测膜经进料传送带输送至运动台，并在运动台上进行定位；

b.开启明场线光源，明场线光源发出的明场光经半反半透镜、全反镜照射到膜表面，再经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行明场成像；

c.关闭明场线光源，开启暗场线光源，暗场光经导光板和暗场聚焦透镜照射到被测膜表面，经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行暗场成像；

d.明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，合格品送回传送带，不合格品送至不合格品盒。

根据本发明的又一个方面，还提供了一种使用如上所述膜表面缺陷检测装置的检测方法，包括如下步骤：

a.被测薄膜经进料传送带输送至运动台，并在运动台上进行定位；

b.同时开启明场线光源和暗场线光源，其中明场线光源发出的明场光经半反半透镜、全反镜照射到膜表面，再经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行明场成像；暗场光经导光板和暗场聚焦透镜照射到被测薄膜表面，经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行暗场成像；

c.明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，合格品送回传送带，不合格品送至不合格品盒。

本发明的优点在于：