[发明专利]一种膜表面缺陷检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述装置包括：暗场照明光路、亮场照明光路、半反半透镜、全反镜、成像镜头、线扫相机；其中，成像镜头和线扫相机位于半反半透镜的竖直方向上方，成像镜头位于线扫相机与半反半透镜之间；亮场照明光路位于半反半透镜的水平方向一侧，全反镜位于半反半透镜的水平方向与亮场照明光路呈180度相位的另一侧。

2.根据权利要求1所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述半反半透镜与水平方向呈45度角放置。

3.根据权利要求1或2所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述暗场照明光路从下到上包括暗场聚焦透镜、导光板、暗场线光源，导光板和暗场线光源位于暗场聚焦透镜的焦平面上，所述暗场聚焦透镜的焦平面与水平方向呈锐角放置。

4.根据权利要求3所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述锐角为45度或60度。

5.根据权利要求1或2所述的一种膜表面缺陷检测装置，其特征在于：

所述亮场照明光路包括亮场聚焦透镜和亮场线光源，其中亮场聚焦透镜位于亮场线光源和半反半透镜之间。

6.一种使用如权利要求1-5任意一项所述膜表面缺陷检测装置的检测方法，包括如下步骤：

a.被测膜经进料传送带输送至运动台，并在运动台上进行定位；

b.开启明场线光源，明场线光源发出的明场光经半反半透镜、全反镜照射到膜表面，再经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行明场成像；

c.关闭明场线光源，开启暗场线光源，暗场光经导光板和暗场聚焦透镜照射到被测膜表面，经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行暗场成像；

d.明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，合格品送回传送带，不合格品送至不合格品盒。

7.一种使用如权利要求1-5任意一项所述膜表面缺陷检测装置的检测方法，包括如下步骤：

a.被测薄膜经进料传送带输送至运动台，并在运动台上进行定位；

b.同时开启明场线光源和暗场线光源，其中明场线光源发出的明场光经半反半透镜、全反镜照射到膜表面，再经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行明场成像；暗场光经导光板和暗场聚焦透镜照射到被测薄膜表面，经全反镜、半反半透镜、成像镜头、线扫相机进行暗场成像；

c.明场成像、暗场成像后的数据由智能系统统计分析其表面的缺陷信息，并汇总输出，通过对缺陷的严重程度的判断，合格品送回传送带，不合格品送至不合格品盒。