[发明专利]体声波谐振器

说明书

本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：支撑部，设置在基板上；层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及框架，在所述气腔内沿着所述层延伸，并与所述支撑部分开。

本申请要求分别于2016年8月18日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0104946号以及于2016年11月28日在韩国知识产权局提交的第10-2016-0159469号韩国专利申请的权益，所述韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。

技术领域

以下描述涉及一种体声波谐振器。

背景技术

近来，根据移动通信装置以及化学和生物装置的飞速发展，对在这些装置中使用的例如小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的需求已经增加。

体声波(BAW)谐振器是实现这样的小且轻的滤波器、振荡器、谐振元件以及声谐振质量传感器的已知的装置。体声波谐振器可以以最小的成本大批量生产，并可实现为具有超小型尺寸。此外，体声波谐振器可实现作为滤波器的主要特性的高品质因子(Q)值，可被使用在微波频带中，并且特别地，还可实现个人通信系统(PCS)和数字无线系统(DCS)的频带。

体声波谐振器包括通过在基板上顺序地堆叠下电极、压电层和上电极而实现的谐振部。当将电能施加到上电极和下电极以在压电层中诱发电场时，电场在压电层中产生压电现象以使谐振部沿着预定方向振动。结果，在与谐振部振动的方向相同的方向上产生声波，从而导致谐振。

发明内容

提供本发明内容以按照简化形式介绍选择的构思，以下在具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容并不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

在一个总体方面，一种体声波谐振器包括：支撑部，设置在基板上；层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及框架，在所述气腔内沿着所述层的边界表面延伸，并与所述支撑部分开。

所述层可包括谐振部，所述谐振部包括第一电极、压电层和第二电极。

所述框架可在所述气腔内沿着位于所述谐振部的无效区域中的所述边界表面延伸。

所述框架可在所述气腔内沿着位于所述谐振部的有效区域的边缘处的所述边界表面延伸。

所述框架可由包括压应力和拉伸应力中的任意一种或两者的材料形成。

所述框架可具有极性与所述谐振部的弹性温度系数的极性不同的弹性温度系数。

所述体声波谐振器还可包括在所述谐振部的有效区域的边缘处设置于所述第二电极上的辅助电极。

所述第二电极可具有与所述辅助电极的声阻抗不同的声阻抗。

在另一总的方面，一种体声波谐振器包括：支撑部，设置在基板上；层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及框架，在所述气腔内沿着所述层的边界表面延伸，其中所述框架的上表面的宽度大于所述框架的下表面的宽度，并且其中，所述框架的将所述上表面和所述下表面彼此连接的侧表面是倾斜的。

所述层可包括谐振部，所述谐振部包括第一电极、压电层和第二电极。

所述框架可在所述气腔内沿着所述谐振部的无效区域中的所述边界表面延伸，并接触所述支撑部。

所述框架可在所述气腔内沿着所述谐振部的有效区域的边缘处的所述边界表面延伸，并接触所述支撑部。

所述层还可包括设置在所述谐振部和所述气腔之间的膜。