[发明专利]体声波谐振器

权利要求书

1.一种体声波谐振器，包括：

支撑部，设置在基板上；

层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及

框架，在所述气腔内沿着所述层的边界表面延伸，并与所述支撑部分开，

其中，所述框架与所述基板被所述气腔间隔开。

2.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述层包括谐振部，所述谐振部包括第一电极、压电层和第二电极。

3.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架在所述气腔内沿着位于所述谐振部的无效区域中的所述边界表面延伸。

4.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架在所述气腔内沿着位于所述谐振部的有效区域的边缘处的所述边界表面延伸。

5.根据权利要求1所述的体声波谐振器，其中，所述框架由包括压应力和拉伸应力中的任意一种或两者的材料形成。

6.根据权利要求2所述的体声波谐振器，其中，所述框架具有极性与所述谐振部的弹性温度系数的极性不同的弹性温度系数。

7.根据权利要求2所述的体声波谐振器，所述体声波谐振器还包括在所述谐振部的有效区域的边缘处设置于所述第二电极上的辅助电极。

8.根据权利要求7所述的体声波谐振器，其中，所述第二电极具有与所述辅助电极的声阻抗不同的声阻抗。

9.一种体声波谐振器，包括：

支撑部，设置在基板上；

层，设置在所述支撑部上，其中，气腔形成在所述基板和所述层之间；以及

框架，在所述气腔内沿着所述层的边界表面延伸，其中，所述框架的上表面的宽度大于所述框架的下表面的宽度，并且其中，所述框架的将所述上表面和所述下表面彼此连接的侧表面是倾斜的，

其中，所述框架与所述基板被所述气腔间隔开。

10.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述层包括谐振部，所述谐振部包括第一电极、压电层和第二电极。

11.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述框架在所述气腔内沿着所述谐振部的无效区域中的所述边界表面延伸，并接触所述支撑部。

12.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述框架在所述气腔内沿着所述谐振部的有效区域的边缘处的所述边界表面延伸，并接触所述支撑部。

13.根据权利要求10所述的体声波谐振器，其中，所述层还包括设置在所述谐振部和所述气腔之间的膜。

14.根据权利要求13所述的体声波谐振器，其中，

所述支撑部包括在远离所述气腔的方向上依次设置的第一支撑部和第二支撑部；并且

所述膜还设置在所述气腔和所述框架之间的边界处、所述气腔和所述第一支撑部之间的边界处、所述第一支撑部和所述第二支撑部之间的边界处、所述框架和所述第二支撑部之间的边界处以及所述第二支撑部的上表面上。

15.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，所述支撑部包括在远离所述气腔的方向上依次设置的第一支撑部和第二支撑部，并且其中，所述第一支撑部由与所述第二支撑部的材料不同的材料形成。

16.根据权利要求15所述的体声波谐振器，其中，所述框架在所述气腔内沿着所述边界表面延伸，并穿过所述第一支撑部和所述第二支撑部的部分。

17.根据权利要求15所述的体声波谐振器，其中，所述第一支撑部的厚度和所述第二支撑部的厚度与所述气腔的厚度相同。

18.根据权利要求9所述的体声波谐振器，其中，由所述下表面和所述侧表面形成的角度为110°至160°。