[发明专利]一种基于MEMS技术的法布里‑珀罗腔可调光滤波器在审
| 申请号： | 201710691716.4 | 申请日： | 2017-08-14 |
| 公开（公告）号： | CN107247331A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张金英 | 申请（专利权）人： | 太仓宏微电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 215400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 技术 法布里 珀罗腔可 调光 滤波器 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，用以选择特定波长的单色光进行输出，其特征在于，包括由压电驱动的法布里-珀罗腔，所述法布里-珀罗腔包括两个平行反射面，一个为固定反射面（3），另一个为可动反射面（1），所述固定反射面（3）和可动反射面（1）的周边的中间夹有压电结构层（2）；通过外加电信号改变压电结构层（2）的状态，从而改变固定反射面（3）和可动反射面（1）之间的间距，最终改变输出光的波长。
2.根据权利要求1所述的基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，其特征在于，所述法布里-珀罗腔的腔体内具有腔体介质（5）。
3.根据权利要求2所述的基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，其特征在于，所述腔体介质（5）为空气，或具有不同折射率的透光介质。
4.根据权利要求1或2或3所述的基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，其特征在于，所述压电结构层（2）中的压电材料为PZT、LiNbO3、ZnO、AlN中的一种或多种。
5.根据权利要求1或2或3所述的基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，其特征在于，所述法布里-珀罗腔的底部设置有衬底（4）。
6.根据权利要求1或2或3所述的基于MEMS技术的法布里-珀罗腔可调光滤波器，其特征在于，所述法布里-珀罗腔采用微纳加工工艺制作而成。
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