[发明专利]外观检查装置及外观检查方法

说明书

本发明提供一种外观检查装置及外观检查方法。外观检查装置将来自光源的光作为扩散光，通过照明装置向检查对象物的平坦的检查面照射，并通过摄像机拍摄检查面。设将检查面上的任意位置和摄像机连接的直线与该位置处的检查面的垂线所成的角度为角度θ时，摄像机和光源以无论在检查面上的哪个位置该位置处的角度θ与扩散光相对于该位置的入射角α都满足θ≠α的位置关系配置。

在2016年8月9日提出的日本专利申请2016-156461的公开，包括其说明书、附图及摘要作为参照而全部包含于此。

技术领域

本发明涉及外观检查装置及外观检查方法。

背景技术

在一般的外观检查方法中，基于通过摄像机拍摄检查面而得到的拍摄图像中的颜色的浓度，来判定检查面上的缺陷的有无。例如，检查面上存在的伤痕相比没有伤痕的区域而颜色被拍摄得深(暗)。因此，能够将拍摄图像中的颜色的浓度高的区域判定为存在伤痕的区域，将颜色的浓度低的区域判定为没有伤痕的区域。

例如，日本特开2002-116153号公报中，作为利用上述那样的方法进行轴承滚道圈等圆筒形加工物的端面的外观检查的装置，公开了图10的外观检查装置。参照图10，在日本特开2002-116153号公报的外观检查装置中，从照明装置13照射的光被作为检查面24的轴承滚道圈内圈的端面反射，其反射光由拍摄装置11拍摄。

如图10所示，在一般的外观检查装置中，在通过检查面进行了镜面反射的反射光入射的位置处设置摄像机。即，通过检查面进行了镜面反射的反射光的行进方向与摄像机的拍摄方向一致。从检查面向摄像机入射的光包括通过检查面进行了扩散反射的反射光和进行了镜面反射的反射光。其中，进行镜面反射而向摄像机入射的光量的比例非常高。在检查面的缺陷不是伤痕等较大的凹凸而是表面粗糙度的差异程度的比较小的凹凸的情况下，存在缺陷的区域与没有缺陷的区域的进行镜面反射的反射光的差量小。在向摄像机入射的光中的被检查面进行镜面反射而向摄像机入射的反射光的光量的比例非常高的情况下，上述差量相对于向摄像机入射的光量而言非常小。因此，拍摄图像中的颜色的深浅之差变小，检查面上存在的缺陷的检测精度有时会下降。

发明内容

本发明的目的之一在于提供一种能够提高外观检查的精度的外观检查装置及外观检查方法。

本发明的一方法的外观检查装置的结构上的特征在于，具备：拍摄装置，拍摄检查对象物的平坦的检查面；及照明装置，将来自光源的光作为扩散光而向检查面照射。拍摄装置和光源以第一位置关系配置，所述第一位置关系是在检查面上的全部位置上该位置处的角度θ与扩散光相对于该位置的入射角α都满足θ≠α的位置关系。上述角度θ是将所述检查面上的任意位置和所述拍摄装置连接的直线与该位置处的所述检查面的垂线所成的角度。

附图说明

前述及后述的本发明的特征及优点通过下面的具体实施方式的说明并参照附图而明确，其中，相同的标号表示相同的部件。

图1是实施方式的外观检查装置的从正面观察的概略图。

图2是用于说明外观检查装置的检查原理的概略图。

图3是表示外观检查装置的主要部分的概略俯视图。

图4是用于说明在外观检查装置中将照明装置配置在第一位置而进行的外观检查的图。

图5是用于说明在外观检查装置中将照明装置配置在第二位置而进行的外观检查的图。

图6是在用于说明外观检查装置中将照明装置配置在第三位置而进行的外观检查的图。

图7是通过外观检查装置拍摄检查面而得到的拍摄图像。

图8是表示以往的外观检查装置的概略图。

图9是通过以往的外观检查装置拍摄检查面而得到的拍摄图像。