[发明专利]基板断开系统有效
申请号: | 201710658411.3 | 申请日: | 2017-08-03 |
公开(公告)号: | CN108107617B | 公开(公告)日: | 2023-01-03 |
发明(设计)人: | 上野勉 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/1333 | 分类号: | G02F1/1333;G02F1/13 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 玉昌峰;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 断开 系统 | ||
1.一种基板断开系统,具备:
断开装置,用于切除贴合基板的端部,所述贴合基板具有第一基板和第二基板,所述第一基板在表面形成有用于切除端部的划线,所述第二基板贴合于所述第一基板的与所述表面相反一侧的背面;
检查装置,检查所述贴合基板的端部去除状态,所述检查装置具有输送机,所述输送机在载置位置和检查位置间输送所述贴合基板;
输送装置,通过使吸附所述贴合基板的吸附部绕轴心旋转来输送所述贴合基板;以及
控制器,在所述贴合基板的端部的断开状态不正常的情况下,所述控制器判断是否对所述贴合基板进行再次断开,如果为是,则所述控制器控制所述输送装置以将所述贴合基板输送至所述断开装置,
其中,在所述吸附部的旋转路径上配置有所述断开装置和所述检查装置。
2.根据权利要求1所述的基板断开系统,其中,
所述基板断开系统还具备输出装置,所述输出装置向下一工序输出经过了所述检查装置的检查的贴合基板,
其中,所述输出装置配置于所述吸附部的旋转路径上。
3.根据权利要求2所述的基板断开系统,其中,
所述基板断开系统还具备废弃部,所述废弃部废弃经过了所述检查装置的检查的贴合基板,
其中,所述废弃部配置于所述吸附部的旋转路径上。
4.根据权利要求3所述的基板断开系统,其中,
所述断开装置、所述检查装置、所述输出装置以及所述废弃部绕所述轴心等间隔地配置。
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