[发明专利]一种碲镉汞薄膜组分的测试方法

说明书

本发明提供了一种碲镉汞薄膜组分的测试方法，包括：将待处理的碲镉汞薄膜固定在样品台上，并将样品台放入红外光谱仪的样品腔室中；对样品腔室和红外光谱仪分别抽真空，再将样品腔室温度降至预定温度；启动红外光谱仪，按照预定调节范围调节红外光谱仪的预定参数，并按照调节后的预定参数对待处理的碲镉汞薄膜进行光致发光测试得到光谱图，并根据光谱图对待处理的碲镉汞薄膜组分进行分析。该方法采用红外光谱仪对碲镉汞薄膜进行光致发光测试得到光谱图，并根据光谱图对碲镉汞薄膜组分进行分析，相较于采用光学薄膜分析软件对碲镉汞薄膜组分进行拟合计算，可以更准确快速的得到碲镉汞薄膜组分，解决了现有技术的问题。

技术领域

本发明涉及激光技术领域，特别是涉及一种碲镉汞薄膜组分的测试方法。

背景技术

随着激光技术的不断发展，先进的红外探测器向具有超大规模凝视面阵、具有更强的探测识别能力、具备双波段或多波段同时探测能力的方向发展，其中，具有双波段或多波段同时探测能力是红外焦平面探测器的主要发展方向。碲镉汞材料由于具有量子效率高、工作温度高、响应波长随组分变化连续可调等优点，成为红外焦平面探测器采用的主要材料。

双波段碲镉汞能对双波段辐射信息进行处理，显著提高了探测器的抗干扰和目标识别能力，应用于空间遥感、红外侦察等众多领域。制备高质量的碲镉汞薄膜材料是获得高性能的双波段碲镉汞探测器的关键，而碲镉汞薄膜材料的组分是薄膜材料的关键参数，准确地获得碲镉汞薄膜的组分不但可以对外延工艺做出合理的评价，而且还可以对外延工艺的工艺参数优化提供参考，以便降低生产成本，提高最终生成的碲镉汞外延薄膜的质量，进而提高双波段碲镉汞薄膜探测器的性能。

现有的组分测试的方法，采用傅里叶红外光谱仪对碲镉汞薄膜进行测试并获得光谱，通过光学薄膜分析软件对获得的光谱进行拟合计算，从而得到碲镉汞薄膜各层的组分。由于在拟合计算过程中需要对一些参数进行近似化处理，使最终得到的碲镉汞薄膜各层的组分准确性不高，影响了碲镉汞外延薄膜材料质量的提高，也无法为外延工艺的优化和改进提供帮助。

发明内容

本发明提供一种碲镉汞薄膜组分的测试方法，用以解决现有技术的如下问题：现有的组分测试方法，采用软件对碲镉汞薄膜对应的光谱进行拟合计算，由于在计算过程中需要对一些参数近似化处理，导致最终得到的碲镉汞薄膜各层的组分准确性不高。

为解决上述技术问题，本发明提供一种碲镉汞薄膜组分的测试方法，包括：将待处理的碲镉汞薄膜固定在样品台上，将所述样品台放入红外光谱仪的样品腔室中；对所述样品腔室抽真空至第一预设气压，对所述红外光谱仪抽真空至第二预设气压，再将所述样品腔室温度降至预定温度；启动所述红外光谱仪，按照预定调节范围调节所述红外光谱仪的预定参数，并按照调节后的预定参数对所述待处理的碲镉汞薄膜进行光致发光测试，以得到光谱图，以根据所述光谱图对所述待处理的碲镉汞薄膜组分进行分析。

可选的，将待处理的碲镉汞薄膜固定在样品台上之前，还包括：将预定表面积的碲镉汞薄膜放入预定浓度的溴甲醇溶液中腐蚀至预定厚度，以将腐蚀后的碲镉汞薄膜作为所述待处理的碲镉汞薄膜。

可选的，所述预定浓度为0.5％。

可选的，所述预定表面积的范围是12mm×12mm至25mm×30mm。

可选的，将预定表面积的碲镉汞薄膜放入预定浓度的溴甲醇溶液中腐蚀至预定厚度之后，还包括：用预定洗液清洗所述碲镉汞薄膜表面。

可选的，用预定洗液清洗所述碲镉汞薄膜表面之后，还包括：按照预定角度用高纯氮气枪沿所述碲镉汞薄膜边缘吹气，其中，所述预定角度为所述高纯氮气枪出气方向与所述碲镉汞薄膜表面成30度至45度的角度。

可选的，根据所述光谱图对所述待处理的碲镉汞薄膜组分进行分析，包括：解析所述光谱图，得到多个峰值；将所有峰值依次代入第一预定公式得到各个所述峰值对应的禁带宽度Eg值；将多个所述Eg值分别代入第二预定公式进行计算，以得到所述碲镉汞薄膜的组分。