[发明专利]检测任意波长光学系统的透射波前的方法

说明书

本发明提供了一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤一，利用R种波长为λ₁～λ_m的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到光学系统在波长为λ₁～λ_m的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)，……，以及Z₁(λ₂)、Z₂(λ₂)、……Z_k(λ₂)；步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，…，R，R≥2，2R‑1≤X_R‑1≤2R，计算参数A_1i、A_2i…A_Ri的值；步骤三，将计算得到的A_1i、A_2i…A_Ri的值代入公式中，计算波长为λ_n的光学系统的Zernike多项式Z_k(λ_n)；步骤四，根据Z_k(λ_n)拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前，其中，200nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2000nm。

技术领域

本发明涉及一种检测透射波前的方法，具体涉及一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法。

背景技术

光学系统透射波前通常使用激光干涉仪检测，激光干涉仪可以准确检测特定波长光学系统(光学系统设计波长与干涉仪光源波长一致)，根据检测需要，目前有不同类型波长的激光干涉仪，用于检测不同类型的光学系统的透射波前。例如，248nm和363nm激光干涉仪用于检测紫外透镜系统，405nm激光干涉仪用于检测DVD光学存储和视听设备的透镜，1053nm激光干涉仪用于研究激光熔合、聚变等。

现有技术中，仅有上述几种特定波长的激光干涉仪，因此，其他波段的光学系统无法使用激光干涉仪检测，导致激光干涉仪的应用范围较小。

另外，激光干涉仪的研发难度较大，且特殊波长激光干涉仪的造价昂贵，因此，现有的特殊波长的激光干涉仪的种类较少。

发明内容

本发明是为了解决上述问题而进行的，目的在于提供一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法。

本发明提供了一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法，具有这样的特征，包括以下步骤：步骤一，利用R种波长为λ₁～λ_m的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到光学系统在波长为λ₁～λ_m的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)，……，以及Z₁(λ_m)、Z₂(λ_m)、……Z_k(λ_m)；

步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：

式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，m＝1，2，3，…，R，R≥2，2R-3≤X_R-1≤2R-2，计算参数A_1i、A_2i…A_Ri的值；