[发明专利]检测任意波长光学系统的透射波前的方法

权利要求书

1.一种检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤一，利用R种波长为λ₁～λ_m的激光干涉仪分别对光学系统进行检测，分别得到所述光学系统在波长为λ₁～λ_m的Zernike多项式Z₁(λ₁)、Z₂(λ₁)、……Z_k(λ₁)，……，以及Z₁(λ_m)、Z₂(λ_m)、……Z_k(λ_m)；

步骤二，将步骤一得到的Zernike多项式代入公式：

式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，

m＝1，2，3，…，R，R≥2，

2R-3≤X_R-1≤2R-2，

计算参数A_1i、A_2i…A_Ri的值；

步骤三，将计算得到的A_1i、A_2i…A_Ri的值代入所述公式中，计算波长为λ_n的光学系统的Zernike多项式Z_k(λ_n)；以及

步骤四，根据Z_k(λ_n)拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前，

其中，200nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤2000nm。

2.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，300nm≤λ₁≠…≠λ_m≠λ_n≤1600nm。

3.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，当R＝2时，所述公式为：

式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，

m＝1或2，

1≤X₁≤2。

4.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，当R＝3时，所述公式为：

式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，

m＝1或2或3，

1≤X₁≤2，3≤X₂≤4。

5.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，当R＝4时，所述公式为：

式中，i＝1，2，3，…，k，k≤37，

m＝1或2或3或4，

1≤X₁≤2，3≤X₂≤4，5≤X₃≤6。

6.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述激光干涉仪为斐索干涉仪或剪切干涉仪。

7.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述Zernike多项式为FringeZernike多项式或StandardZernike多项式。

8.根据权利要求1所述的检测任意波长光学系统的透射波前的方法，其特征在于：

其中，所述光学系统为单波长系统或消色差系统。