[发明专利]一种液晶面板气泡检测系统有效
申请号: | 201710602387.1 | 申请日: | 2017-07-21 |
公开(公告)号: | CN107219652B | 公开(公告)日: | 2020-10-02 |
发明(设计)人: | 赵蓉;谢克成;赵赫;杨立涛;刘泽钦 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙) 44280 | 代理人: | 钟子敏 |
地址: | 518006 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液晶面板 气泡 检测 系统 | ||
1.一种液晶面板气泡检测系统,其特征在于,所述系统包括:
可密封的腔体,用于放置待检测样品,所述待检测样品为采用裂片刀从垂直于液晶面板方向裂取获得,所述待检测样品的左右两侧中至少有一侧无封框胶;当所述待检测样品被放置在所述腔体中后,所述腔体被密封,其中,所述待检测样品包括液晶以及被所述液晶包裹的气泡;
抽真空装置,与所述腔体连接,用于当所述腔体被密封后,将所述腔体内抽至真空状态;
样品处理装置,包括液晶吸附部件,所述液晶吸附部件为海绵类型的多孔部件,设置在所述腔体内,且与放置所述待检测样品未设置封框胶的一侧位置对应,用于从未设置封装胶一侧吸附所述待检测样品中的所述液晶,当所述抽真空装置将所述腔体内抽至真空状态后,使所述待检测样品中所述气泡中的气体逸出;
气体分析装置,与所述腔体连接,用于检测所述腔体内逸出的所述气体的成分,进而获得所述待检测样品中所述气泡内所述气体的成分。
2.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
所述系统还包括真空检测装置,所述真空检测装置与所述腔体连接,用于检测所述腔体内的真空度。
3.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统还包括:
样品承载架,设置在所述腔体内,用于承载所述待检测样品。
4.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述样品处理装置还包括:
轨道部件,设置在所述腔体内,与所述液晶吸附部件连接,以使所述液晶吸附部件可以远离或靠近所述待检测样品。
5.根据权利要求4所述的系统,其特征在于,
所述轨道部件可移动设置在所述腔体内,所述液晶吸附部件固定在所述轨道部件上,当所述轨道部件移动时进而带动所述液晶吸附部件移动;或者,所述轨道部件固定设置在所述腔体内,为所述液晶吸附部件提供轨道,以使所述液晶吸附部件沿所述轨道移动。
6.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述抽真空装置包括至少一个真空泵,所述真空泵包括干泵和涡轮分子泵,所述干泵的进气侧与所述腔体连接,所述干泵的排气侧与所述涡轮分子泵的进气侧连接。
7.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述腔体内处于真空状态时,真空度为10-1-10-5Pa。
8.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,所述气体分析装置包括热导式气体分析仪、热磁式气体分析仪、电化学式气体分析仪和红外线吸收式气体分析仪中至少一种。
9.根据权利要求1所述的系统,其特征在于,
所述系统进一步包括破真空装置,所述破真空装置与所述腔体连接,用于破除所述腔体内的真空状态。
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