[发明专利]一种液晶显示面板的制造方法有效
申请号: | 201710594966.6 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN107272232B | 公开(公告)日: | 2020-12-25 |
发明(设计)人: | 邓竹明 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G02F1/1362;G02F1/1339 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 518132 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 液晶显示 面板 制造 方法 | ||
1.一种液晶显示面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤S40、使用第一光罩,使彩色滤光膜层形成相互分离的像素单元区和遮光区,
其中,第一色阻层的至少一部分设置在第一基板的栅极线上;
步骤S50、在所述彩色光阻层上沉积第一钝化层,形成钝化层过孔,然后形成像素电极图案;
步骤S60、在所述第一钝化层上涂布第一光阻层;
步骤S70、利用一多段式调整光罩,对所述第一光阻层进行图案化处理,得到第一凸台、第二凸台以及黑色矩阵;
步骤S80、将第二基板与所述第一基板进行对组贴合,并将液晶材料滴注于所述第二基板与所述第一基板之间;
所述步骤S70包括:
利用一多段式穿透率的掩膜板对所述第一光阻层进行曝光,使所述第一光阻层图案化,得到所述第一凸台、所述第二凸台以及所述黑色矩阵;
其中,所述多段式穿透率掩膜板包括第一穿透率区域、第二穿透率区域及第三穿透率区域,所述第一穿透率区域、所述第二穿透率区域、所述第三穿透率区域的透光率依次递减;
所述第一穿透率区域与所述第一凸台、第二凸台对应;
所述第二穿透率区域与所述黑色矩阵对应;
所述第三穿透率区域与所述像素单元区对应。
2.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,在所述步骤S40之前还包括:
步骤S10、在所述第一基板上形成薄膜晶体管层;
步骤S20、在所述薄膜晶体管层上沉积第二钝化层;
步骤S30、在所述第二钝化层上形成所述彩色滤光膜层。
3.根据权利要求2所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤S10包括:
步骤S11、提供所述第一基板;
步骤S12、使用第二光罩,在所述第一基板上形成薄膜晶体管的栅极与栅线;
步骤S13、使用第三光罩,在所述基板表面形成所述薄膜晶体管的栅极绝缘层、有源层、源电极、漏电极以及第三钝化层。
4.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述步骤S50包括:
步骤S51、在所述彩色光阻层上沉积第一钝化层;
步骤S52、在所述第一钝化层上涂布第二光阻层;
步骤S53、对所述第二光阻层曝光、显影后,在所述第一钝化层上形成钝化层过孔;
步骤S54、在所述第一钝化层上涂布透明金属层;
步骤S55、剥离所述第二光阻层,形成像素电极图案。
5.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一凸台位于所述栅极线上的第一色阻上方;
所述第一凸台与所述第二凸台相邻色阻单元的颜色相同。
6.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,在垂直于所述液晶显示面板所在的平面的方向上,所述第一凸台的高度大于所述第二凸台的高度;
所述第一凸台为主隔垫物,所述第二凸台为辅隔垫物。
7.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述彩色滤光膜层包括红色色阻单元、绿色色阻单元及蓝色色阻单元;
所述第一色阻层为所述红色色阻单元、所述绿色色阻单元及所述蓝色色阻单元中的一种。
8.根据权利要求1所述的液晶显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一光阻层为黑色光阻材料,且为负性光。
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