[发明专利]快速查找和修正版图数据中异常图形的方法有效

专利信息
申请号: 201710579052.2 申请日: 2017-07-17
公开(公告)号: CN107590303B 公开(公告)日: 2021-11-09
发明(设计)人: 张燕荣;张兴洲 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G06F30/20 分类号: G06F30/20;G06F11/07;G06F111/04
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 戴广志
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 快速 查找 修正 版图 数据 异常 图形 方法
【权利要求书】:

1.一种快速查找和修正版图数据中异常图形的方法,其特征在于:包含如下的步骤:

步骤一、解析版图数据,根据设计规则将查找到的异常图形进行编码;所述的设计规则是指版图设计人员自行已经定义并存储用于比对样本的几种异常图形;

步骤二、根据编码,对于各个异常图形进行坐标值提取、层次信息提取、单元体名称提取并进行数据存储;

步骤三、将后台数据库中设置的异常图形信息与步骤二得到实际版图中的异常信息进行比较,如符合规则,即满足可自动化修正的就进行处理,否则将异常图形的所有信息通过输出报错信息的方式,提醒用户进行人工判断和修正;

步骤四、对于修正后的数据再次进行分析,输出结果;如本次版图数据中未查找到任何异常图形,则判定为数据异常图形检查合格,否则判定为数据异常图形检查不合格。

2.如权利要求1所述的快速查找和修正版图数据中异常图形的方法,其特征在于:所述步骤三中,输出的提示包含错误类型、存储的异常图形坐标值、层次信息、单元体名称。

3.如权利要求1所述的快速查找和修正版图数据中异常图形的方法,其特征在于:若进行步骤一未查找到任何异常图形,则标识数据OK,不再进行后续步骤。

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