[发明专利]一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置在审
| 申请号： | 201710576492.2 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN107139067A | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 王鑫 | 申请（专利权）人： | 青岛嘉星晶电科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B53/017 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司37212 | 代理人： | 巩同海 |
| 地址： | 266114 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 控制 蓝宝石 晶片 抛光 ttv ltv 方法 装置 | ||
1.一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于该方法的控制步骤为：
步骤一，首先通过现有设备对蓝宝石晶片(2)进行抛光；
步骤二，对抛光后的蓝宝石晶片(2)进行测绘；
步骤三，通过测绘分析得出蓝宝石晶片(2)边缘TTV/LTV不符合要求的区域；
步骤四，根据对蓝宝石晶片(2)边缘TTV/LTV数值的分析结合晶片(2)最大利用率原则对抛光盘面(3)进行修整；
步骤五，用调整后的抛光盘面对蓝宝石晶片(2)进行抛光，测量抛光后蓝宝石晶片(2)的TTV/LTV。
2.根据权利要求1所述的一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于对蓝宝石晶片(2)进行单面抛光。
3.根据权利要求2所述的一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于抛光采用高温、高压的加工方式。
4.根据权利要求1所述的一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于所述测绘是对晶片边缘产生不良位置处进行测绘。
5.一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，包括压力气缸(1)、抛光盘面(3)、转动主轴(4)，驱动装置(5)和基座(6)，驱动装置(5)设置于基座(6)内，转动主轴(4)与驱动装置(5)连接，抛光盘面(3)与转动主轴(4)连接，压力气缸(1)位于抛光盘面(3)上方，蓝宝石晶片(2)位于抛光盘面(3)和压力气缸(1)之间，所述抛光盘面(3)与蓝宝石晶片(2)在水平面上的投影位置不完全重合。
6.根据权利要求5所述的一种控制蓝宝石晶片抛光TTV/LTV的方法及装置，其特征在于所述抛光盘面(3)与晶片(2)不完全接触。
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