[发明专利]用于太阳能电池的指状电极及其制造方法有效
申请号: | 201710560338.6 | 申请日: | 2017-07-11 |
公开(公告)号: | CN108155252B | 公开(公告)日: | 2020-09-22 |
发明(设计)人: | 朴相熙;金相珍;赵宰汇 | 申请(专利权)人: | 三星SDI株式会社 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 太阳能电池 电极 及其 制造 方法 | ||
一种制造用于太阳能电池的指状电极的方法和由其制造的用于太阳能电池的指状电极,其包含(a)使用具有65%或更大孔径比的印刷掩模将导电膏印刷在衬底的一个表面上;和(b)烘烤所印刷的导电膏,其中导电膏包含导电粉末、玻璃料和有机媒剂,并且其中有机媒剂包含在室温下的蒸气压是0.1帕至500帕并且闪点是90℃至150℃的溶剂。因此,用于太阳能电池的指状电极可展现大高宽比、良好的电特性以及高转换效率。
相关申请的交叉引用
本申请要求2016年12月02日在韩国知识产权局提交的韩国专利申请第10-2016-0163886号的权益,所述专利申请的全部公开内容以引用的方式并入本文中。
技术领域
实施例是涉及一种制造用于太阳能电池的指状电极的方法。更确切地说,实施例是涉及一种使用具有65%或更大孔径比的印刷掩模制造用于太阳能电池的指状电极及其制造方法。
背景技术
太阳能电池使用将日光的光子转换成电的p-n结的光生伏打效应产生电。在太阳能电池中,分别在具有p-n结的半导体晶片或衬底的上表面和下表面上形成前电极和后电极。随后,通过进入半导体晶片的日光诱发p-n结处的光生伏打效应并且通过p-n结处的光生伏打效应产生的电子通过电极将电流提供到外部。
太阳能电池的电极可以通过将具有开口的印刷掩模安置在将形成电极的地方,接着将导电膏安置在印刷掩模上,经由印刷掩模的开口将导电膏以电极的形状印刷在半导体衬底上并且烘烤导电膏而在半导体衬底上形成。
图1中示出了一般用于形成用于太阳能电池的电极的印刷掩模的图像。如图1中所示,用于形成用于太阳能电池的电极的印刷掩模10是通过将光刻胶树脂(photoresistresin)14施用于以对角线方向对准的网孔12上,接着经由光刻法(photoresist process)选择性地去除所述部分的感光性树脂以印刷电极,从而形成电极印刷部分16来形成。这种通用印刷掩模具有45%至60%的孔径比。如本文所用,孔径比意思指电极印刷部分的非网孔面积在电极印刷部分的全部面积中的百分比。
一般在太阳能电池的前表面上形成的指状电极通常具有窄线宽和高厚度以增加日光的光接收面积。然而,在通用印刷掩模的使用中,无法提高电极的高宽比(高度/宽度比率)超出特定范围,并且也不改善太阳能电池的转换效率。
如今,提出一种使用具有65%或更大的相对高孔径比的印刷掩模制造指状电极的方法以便提高电极的高宽比。然而,如果用于具有相对低孔径比的通用印刷掩模的导电膏被用于具有高孔径比的印刷掩模,那么可能增加所印刷电极的表面粗糙度,从而造成高线路电阻或印刷误差。
因此,需要一种使用具有65%或更大孔径比的印刷掩模制造用于太阳能电池的电极而不劣化可印刷性或不增加电极表面粗糙度的方法。
背景技术公开在日本授权专利第4255248号中。
发明内容
根据本发明的一个方面,提供一种制造用于太阳能电池的指状电极的方法。实施例可以通过(a)使用具有65%或更大孔径比的印刷掩模将导电膏印刷在衬底的一个表面上;和(b)烘烤所印刷的导电膏来实现,其中所述导电膏包含导电粉末、玻璃料和有机媒剂,并且其中所述有机媒剂包含在室温下的蒸气压是0.1帕至500帕并且闪点(flash point)是90℃至150℃的溶剂。
印刷掩模可具有65%至90%的孔径比。
印刷掩模可包含网孔、与所述网孔一体化的感光性树脂层、以及上面的感光性树脂层被去除的电极印刷部分。安置于电极印刷部分的上部和下部上的网孔的纬线(weftthread)间隔可比安置于其它区域的网孔的间隔更宽。
烘烤可在700℃至1,000℃的温度下进行。
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