[发明专利]沉积设备

说明书

公开了一种沉积设备，该沉积设备包括：腔室；第一级和第二级，用于在腔室内支承衬底；蒸发源组件，在与第一级对应的第一级区和与第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过该多个喷嘴被喷射；以及拍照组件，设置在第一级与第二级之间，并为多个喷嘴拍照。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年7月12日提交的第10-2016-0088199号韩国专利申请的优先权以及由此产生的所有权益，该韩国专利申请的内容通过引用以其整体并入本文。

技术领域

本发明的示例性实施方式涉及沉积设备。

背景技术

通常，为制造有机发光显示面板，执行用于在衬底上形成有机薄膜的沉积过程。当源材料被插入至腔室内的蒸发源中并被加热时，蒸发的源材料的蒸气穿过预定的掩模图案并且沉降在衬底上。在有机薄膜沉积过程中，期望导致有机薄膜的均匀生长。

发明内容

在有机薄膜沉积过程中，可产生源材料附着于喷嘴以及喷嘴的孔被阻塞的现象，其中源材料通过喷嘴被释放。当喷嘴被阻塞时，在沉积过程期间，材料可能被不均匀地施加。相应地，沉积在衬底上的有机薄膜的厚度是不均匀的，并且制造的衬底可能具有缺陷。

本发明的示例性实施方式提供沉积设备，包括：腔室；第一级和第二级，用于在腔室内部支承衬底；蒸发源组件，在与第一级对应的第一级区和与第二级对应的第二级区之间移动，并且包括多个喷嘴，其中，源材料通过该多个喷嘴被喷射；以及拍照组件，设置在第一级与第二级之间，并且为多个喷嘴拍照。

在示例性实施方式中，设备还可包括：控制器，基于从拍照组件提供的图像数据确定多个喷嘴的阻塞状态。在示例性实施方式中，设备还可包括：驱动组件，移动蒸发源组件。在示例性实施方式中，蒸发源组件还可包括：蒸发容器，容纳源材料；热反射板，多个喷嘴布置在热反射板上，并且热反射板覆盖蒸发容器；以及加热单元，加热源材料。

在示例性实施方式中，控制器可包括：图像分析单元，分析图像数据；驱动控制器，控制驱动组件以使得蒸发源组件在第一级区与第二级区之间移动；以及加热控制器，控制加热单元的加热程度。在示例性实施方式中，当确定多个喷嘴中的预定数目或者更多数目的喷嘴被阻塞时，控制器可控制加热单元辐射热量。

在示例性实施方式中，设备还可包括：显示单元，显示多个喷嘴的阻塞状态。在示例性实施方式中，当多个喷嘴中的任意一个喷嘴的喷嘴开口区的阻塞程度等于或者大于参考值时，控制器可通过显示单元作出警告。

在示例性实施方式中，拍照组件可设置在蒸发源组件的移动路径上，并且可为移动的蒸发源组件的多个喷嘴拍照。在示例性实施方式中，多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行，拍照组件的拍照次数可与包括在一个喷嘴行中的喷嘴的数目对应。在示例性实施方式中，控制器可控制拍照组件以使得每当蒸发源组件在第一级区与第二级区之间移动时拍照组件以预定定时拍照。

在示例性实施方式中，拍照组件还可包括：壳体，在壳体内限定有内部空间；多个相机单元，设置在壳体内；照明单元，与多个相机单元对应；以及观测窗，设置在壳体的面对蒸发源组件的前表面上。

在示例性实施方式中，壳体的内侧可维持在大气压状态下。在示例性实施方式中，多个喷嘴设置成至少一个喷嘴行，相机单元的数目可与布置在蒸发源组件中的喷嘴行的数目相同。

在示例性实施方式中，设备还可包括：遮板单元，设置在蒸发源组件与拍照组件之间，以及打开和关闭与观测窗对应的区。在示例性实施方式中，设备还可包括：覆盖玻璃单元，在拍照组件与遮板单元之间可拆卸。在示例性实施方式中，设备还可包括：防粘附板，防止源材料接触除与观测窗对应的区以外的区。

附图说明