[发明专利]微流泵浦结构、系统及制作方法

权利要求书

1.一种微流泵浦结构，其特征在于，包括泵腔，设置在所述泵腔中的动力膜片(30)，以及驱动所述动力膜片(30)在所述泵腔中运动的驱动装置；

所述动力膜片(30)将所述泵腔分割为第一腔室(10)和第二腔室(20)；所述第一腔室(10)具有用于与外部连通的第一通道(11)，所述第二腔室(20)具有用于与外部连通的第二通道(21)，所述动力膜片(30)上具有由所述第一腔室(10)向第二腔室(20)单向打开的第三通道。

2.根据权利要求1所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述动力膜片(30)为压电材料，所述驱动装置为施加于所述动力膜片(30)上的交流电源(52)。

3.根据权利要求1所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述微流泵浦结构还包括设置在所述泵腔两侧并与所述动力膜片(30)相对的两个导电极板，所述动力膜片(30)为导体；

所述驱动装置包括施加于所述两个导电极板和所述动力膜片(30)之一上的直流电源(51)，以及施加于所述两个导电极板和所述动力膜片(30)另一上的交流电源(52)。

4.根据权利要求3所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述两个导电极板形成所述泵腔的两个侧壁。

5.根据权利要求1所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述动力膜片(30)上具有铁磁材料或磁性材料，所述驱动装置为设置在所述泵腔外部的电磁铁。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述第一通道(11)和/或所述第二通道(21)中设置有单向阀。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的微流泵浦结构，其特征在于，

所述动力膜片(30)上具有第三通道孔(31)和位于所述第二腔室(20)侧以单向打开所述第三通道孔(31)的单向瓣膜(32)。

8.一种微流泵浦系统，其特征在于，包括至少两个权利要求1至7中任一项所述的微流泵浦结构，所述至少两个微流泵浦结构通过管道串联、并联或者串并联混合的方式连接。

9.一种微流泵浦结构的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在基底上淀积第一极板(41)；

在所述第一极板(41)上淀积并刻蚀形成第一腔室(10)；

在所述第一腔室(10)内填充牺牲层物质；

在填充牺牲层物质的所述第一腔室(10)上淀积并刻蚀形成动力膜片(30)；

在所述动力膜片(30)上淀积并刻蚀形成第二腔室(20)；

在所述第二腔室(20)内填充牺牲层物质；

在填充牺牲层物质的所述第二腔室(20)上淀积第二极板(42)；

去除第一腔室(10)和第二腔室(20)内部的牺牲层物质。

10.根据权利要求9所述的微流泵浦结构的制作方法，其特征在于，在填充牺牲层物质的所述第一腔室(10)上淀积并刻蚀形成动力膜片(30)包括：

淀积动力膜片层，并刻蚀形成第三通道孔(31)；

淀积单向瓣膜层，并刻蚀去除多余部分形成单向瓣膜(32)。