[发明专利]光学晶片的制造有效
申请号: | 201710481201.1 | 申请日: | 2013-08-19 |
公开(公告)号: | CN107425030B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | 哈特穆特·鲁德曼 | 申请(专利权)人: | 赫普塔冈微光有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;B29D11/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;吴启超 |
地址: | 新加坡新*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 晶片 制造 | ||
1.一种制造光学晶片的方法,所述方法包括:
提供包括芯部区域的前体晶片,所述芯部区域由对特定光谱范围的光是不透明的玻璃增强环氧树脂构成,所述前体晶片进一步包括在所述芯部区域的顶表面上的第一树脂层和在所述芯部区域的底表面上的第二树脂层;
在所述前体晶片中形成开口,所述开口从所述前体晶片的顶部延伸到所述前体晶片的底部;
用材料填充所述开口,所述材料在硬化时对所述特定光谱范围的光是透明的;
使所述开口中的所述材料硬化来形成对所述特定光谱范围的光是透明的透明元件;
抛光所述前体晶片的顶表面和所述前体晶片的底表面来获得具有预定范围内的厚度的晶片,而不引起所述芯部区域的玻璃纤维暴露,以及
在所述透明元件中的至少一些透明元件的一个或多个暴露表面上提供相应光学结构。
2.如权利要求1所述的方法,其中所述芯部区域由复合材料构成,所述复合材料由织造玻璃纤维布与阻燃性的环氧树脂粘合剂构成。
3.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述芯部区域由复合材料构成,所述复合材料由织造玻璃纤维布与环氧树脂粘合剂构成。
4.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述芯部区域由通过插入浸渍有环氧树脂粘合剂的连续玻璃织造织物所产生的材料构成。
5.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述第一树脂层和第二树脂层不是玻璃增强的。
6.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述第一树脂层和第二树脂层由无玻璃黑色环氧树脂构成。
7.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中在所述抛光之后,从所述晶片的一边到另一边,所述晶片的总厚度在预定厚度的±5-50μm以内。
8.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中在所述抛光之后,从所述晶片的一边到另一边,所述晶片的总厚度的变化不大于5%。
9.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述第一树脂层与第二树脂层对所述特定光谱范围的光是不透明的。
10.如权利要求9所述的方法,其中所述特定光谱范围包括电磁波谱的红外部分。
11.如权利要求9所述的方法,其中所述特定光谱范围包括电磁波谱的近红外部分。
12.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中在所述抛光之后,所述第一树脂层和第二树脂层中每一个的剩余厚度在所述第一树脂层和第二树脂层的相应初始厚度的10-50%范围内。
13.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述透明元件上的所述光学结构包括透镜。
14.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其包括使用复制工艺来提供所述光学结构。
15.如权利要求1或2中任一项所述的方法,其中所述光学结构形成于所述透明元件的暴露表面上在所述晶片的相对侧。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于赫普塔冈微光有限公司,未经赫普塔冈微光有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201710481201.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:新型微区取样仪
- 下一篇:一种铁水定深取样装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的