[发明专利]一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具

权利要求书

1.一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：包括从上至下顺次设置的上掩膜板、样品定位板和下掩膜板；

所述上掩膜板上设有上掩膜开孔、第一紧固孔；

所述下掩膜板上设有下掩膜开孔、定位槽、弹性片、掩膜片和第二紧固孔；所述下掩膜开孔与定位槽连通，位于定位槽的下方，且与定位槽同轴设置；所述弹性片和掩膜片从下至上顺次设于定位槽内，二者的外侧壁紧贴定位槽的内侧壁；

所述样品定位板上设有样品固定孔、第三紧固孔；所述样品固定孔设于上掩膜板上对应的上掩膜开孔下方，同时位于下掩膜板上对应的定位槽的上方，三者同轴设置，所述样品固定孔的横截面尺寸大于对应上掩膜开孔的横截面尺寸，且小于对应下掩膜上定位槽的横截面尺寸；所述第三紧固孔与上掩膜板上对应的第一紧固孔和下掩膜板上对应的第二紧固孔同轴设置，且三者的横截面尺寸相同；

所述弹性片和掩膜片上分别设有第一通孔和第二通孔，所述第一通孔横截面尺寸大于或者等于第二通孔的横截面尺寸；所述第二通孔的横截面形状与样品下镀膜面所需的镀膜形状相同；

所述上掩膜开孔的横截面形状与样品上镀膜面所需的镀膜形状相同。

2.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述第二通孔的横截面尺寸小于或者等于下掩膜开孔的横截面尺寸。

3.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述弹性片为波浪形结构。

4.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述上掩膜开孔、第一通孔和第二通孔均为圆形。

5.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述样品固定孔为圆柱形孔，用于定位样品。

6.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述掩膜片的顶壁与样品固定孔的底壁处于同一平面。

7.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述样品定位板和下掩膜板上还分别设有第四紧固孔和第五紧固孔，所述第四紧固孔和第五紧固孔同轴设置，且二者的横截面尺寸相同。

8.根据权利要求1所述的一种用于气相双面沉积镀膜的掩膜夹具，其特征在于：所述上掩膜板、样品定位板和下掩膜板上对应的位置处分别设有用于配合定位使用的第一定位孔、第二定位孔和第三定位孔，三者同轴设置，且横截面尺寸相同。