[发明专利]磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板

说明书

提供磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板。本发明的磁盘用玻璃基板具有一对主表面、侧壁面、以及主表面与侧壁面之间的倒角面。在该磁盘用玻璃基板中，对于侧壁面和倒角面中的至少任意一个面的表面特性来说，算术平均粗糙度(Ra)在0.015μm以下，并且，在粗糙度截面积的负荷率曲线中，粗糙度百分比为60％处的粗糙度截面积的负荷率在95％以上。

本申请基于专利法实施细则第42条提出，是申请日为2013年6月28日、申请号为201380044680.0的发明专利申请“磁盘用玻璃基板、磁盘以及磁盘用玻璃基板的制造方法”的分案申请

技术领域

本发明涉及磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板。

背景技术

当前，在个人计算机或者DVD(Digital Versatile Disc：数字多功能光盘)记录装置等中，为了进行数据记录而内置有硬盘装置(HDD：Hard Disk Drive：硬盘驱动器)。特别是在笔记本型个人计算机等以可移动性为前提的设备中使用的硬盘装置中，使用在玻璃基板上设置有磁性层的磁盘，利用在磁盘的表面上稍微悬浮的磁头对磁性层记录或读取磁记录信息。作为该磁盘的基板，由于具有比金属基板(铝基板)等更难以发生塑性变形的性质，因而优选使用玻璃基板。

另外，应增大硬盘装置中存储容量的要求，寻求磁记录的高密度化。例如使用垂直磁记录方式，使磁性层中的磁化方向相对于基板的面为垂直方向，进行磁记录信息区域(记录位(bit))的微细化。由此，可以增大1张盘片基板中的存储容量。进而，为了进一步增大存储容量，还通过使磁头的记录再现元件部更加突出，从而极度缩短其与磁记录层的距离，进一步提高信息的记录再现精度(提高S/N比)。另外，这种磁头的记录再现元件部的控制被称作DFH(Dynamic Flying Height：动态飞行高度)控制机构，配备该控制机构的磁头被称作DFH头。对于与这种DFH头组合用于HDD的磁盘用玻璃基板的主表面，为了避免与磁头或从磁头上进一步突出的记录再现元件部的碰撞和接触，将该主表面制作成极其平滑的表面。

磁盘用玻璃基板具有一对主表面、侧壁面以及主表面与侧壁面之间的倒角面。以往，已知通过使磁盘用玻璃基板的侧壁面和/或倒角面的表面粗糙度成为规定的值以下或者使侧壁面和/或倒角面形成为所期望的形状，能够防止因与HDD内的主轴的摩擦而产生颗粒，并能够抑制磁头划碰故障和热粗糙故障等不良状况。例如，在专利文献1中记载了如下的内容等：以Rmax表示，使侧壁面和倒角面的表面粗糙度成为1μm以下，或者，在玻璃基板的侧壁面与倒角面之间、以及玻璃基板的主表面与倒角面之间中的至少一方，设置半径在0.003mm以上且小于0.2mm的曲面。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2006-236561号公报

发明内容

发明所要解决的课题

尽管充分地减小了磁盘用玻璃基板的主表面的表面粗糙度，但是在该玻璃基板上形成磁性层来制作磁盘时，在使用了磁头的长时间的LUL耐久性试验中，存在发生磁头划碰故障或热粗糙故障等不良状况的情况。

因此，本发明的目的是提供难以引起磁头划碰故障和热粗糙故障等不良状况的磁盘用玻璃基板及其制造方法、磁盘、圆环状的玻璃基板。

解决问题的手段

本申请的发明人为了探究下述问题的原因而深入地进行了研究：尽管充分减小了主表面的表面粗糙度，但还是会引起磁头划碰故障或热粗糙故障等不良状况。结果发现，在产生不良状况的玻璃基板的主表面上附着有异物。该异物是胶态二氧化硅的微粒，在调查了其产生源之后发现，该异物还附着于玻璃基板的外周面及内周面的侧壁面和/或倒角面上。由此推测出：该异物是在镜面加工的研磨中使用的胶态二氧化硅的磨粒的一部分，是胶态二氧化硅的微粒残留在玻璃基板上所造成的。