[发明专利]一种含氢掺铝类金刚石薄膜的制备方法在审
| 申请号： | 201710444712.6 | 申请日： | 2017-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN107267941A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 林松盛;许伟;代明江;周克崧;石倩;侯惠君;韦春贝;李洪;赵凤丽;苏一凡 | 申请（专利权）人： | 广东省新材料研究所 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 广东世纪专利事务所44216 | 代理人： | 千知化 |
| 地址： | 510651 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 含氢掺铝类 金刚石 薄膜 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种含氢掺铝类金刚石薄膜的制备方法，其特征是由步骤如下组成：
1）将除油清洗后的基材置于真空室中工件架上，抽真空至本底真空度＜3×10-3Pa；
2）将氩气通入离子源中，保持压力为0.3~0.4Pa，调节离子源电流至1.0~1.5A，同时在基材上施加-700~-800V偏压，对基体表面进行离子清洗和表面活化20~30分钟；
3）离子清洗和表面活化后，将基体偏压降至-100~-200V，通入流量为30~60sccm的甲烷或乙炔和流量为80~120sccm的氩气，铝靶电流为1.0~3.0A，离子源电流为1.0~1.5A，沉积气压为0.35~0.5Pa，沉积60~240分钟，镀膜结束，待炉内温度降至室温，基体表面得到含氢掺铝类金刚石薄膜。
2.根据权利要求1所述的含氢掺铝类金刚石薄膜的制备方法，其特征是所述基材为模具钢、不锈钢、硬质合金或单晶硅片。
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