[发明专利]力学性能良好的微机电系统结构电介质及其制备方法

权利要求书

1.一种微机电系统上使用的电介质制备方法，其特征在于：其原料配比(按重量计)为：

双酚A型环氧树脂70份

聚乙二醇二缩水甘油醚16份

环氧体系固化剂50份

双三氟甲基磺酰亚胺锂50份

碳酸丙烯酯50-100份

聚碳酸乙烯酯30份

所述的双酚A型环氧树脂为基于普通环氧树脂的改性产品，其结构式为：

所述的聚乙二醇二缩水甘油醚平均分子量为500，结构式为：

所述的环氧体系固化剂为特制聚醚胺体系，结构式为：

其中x＝6.1。

所述的双三氟甲基磺酰亚胺锂为普通锂盐的改性产品，其结构式为：

所述的碳酸丙烯酯结构式为：

所述的碳酸乙烯酯结构式为：

2.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质，其特征在于：该环氧体系固化剂为D400聚醚胺。

3.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质，其特征在于：环氧体系为聚乙二醇二缩水甘油醚与D400聚醚胺的混合物。

4.如权利要求1所述的具有良好力学性能的液/固双相结构电介质，其特征在于：液体相体系为碳酸丙烯酯、聚碳酸乙烯酯和双三氟甲基磺酰亚胺锂的混合物。

5.一种微机电系统上使用的电介质制备方法，其特征在于，工艺方法如下：

1)环氧体系调配：

烧杯中加入适量双酚A型环氧树脂、聚乙二醇二缩水甘油醚与D400聚醚胺，搅拌均匀后由升温以2℃/min的升温速率升高至55℃预热5min，再以3℃/min的升温速率升高至76℃加热10min，自然冷却至室温，得到稳定均匀的溶液。

2)液体相体系调配：

向烧杯中加入定量的碳酸丙烯酯和聚碳酸乙烯酯，搅拌均匀后加入适量的双三氟甲基磺酰亚胺锂，放置于冰浴环境，在3000r/min的转速下采用高剪乳化处理20min，溶液呈现乳白色后，在5000r/min的转速下继续采用高剪乳化处理30min，关闭高剪设备将溶液在冰浴中继续冷却10min。

3)固/液相结构制备：

将上述环氧体系和液体相体系混合后搅拌均匀，在3000r/min的转速下采用高剪乳化处理20min，溶液呈现乳白色后，在5000r/min的转速下继续采用高剪乳化处理30min，关闭高剪设备将溶液在冰浴中继续冷却10min；将溶液放置于真空烘箱内室温抽气泡20min，得到透明均匀的溶液，然后浇铸于预热的模具中，放入烘箱中从室温以2℃/min的升温速率升高至75℃预固化2小时，以2℃/min的升温速率升高至110℃固化2小时，以2℃/min的升温速率升高至160℃后处理2小时，待冷却至室温后出料，取出制品。