[发明专利]一种研究铜阳极Cl-浓度对镀铜质量影响的方法

权利要求书

1.一种研究铜阳极Cl^-浓度对镀铜质量影响的方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、以磷铜或铜板作为阳极，以待镀基板为阴极，以H₂SO₄和CuSO₄溶液作为电镀液，采用电解镀铜法电镀待镀基板；

S2、控制阳极电流密度为1.0～2.0A/dm²，测定阳极附近Cl^-的浓度，计算其浓度的平均值，记录平均值为n1，电镀2～4小时，观察记录待镀基板的镀铜情况；

S3、改变阳极电流密度为2.5～3.5A/dm²，测定阳极附近Cl^-的浓度，计算其浓度的平均值，记录平均值为n2，电镀2～4小时，观察记录待镀基板的镀铜情况；

S4、改变阳极电流密度为4.0～5.0A/dm²，测定阳极附近Cl^-的浓度，计算其浓度的平均值，记录平均值为n3，电镀2～4小时，观察记录待镀基板的镀铜情况；

S5、根据待镀基板的镀铜情况确定铜阳极Cl^-的浓度对镀铜的影响；

所述测定阳极附近Cl^-的浓度为：将铜阳极所处区域横向均分为3～5个区，纵向均分为5～8区，采用移液管在横向、纵向各个区域内取液，测定Cl^-浓度；所述铜阳极为球状磷铜阳极，所述磷铜阳极置于钛蓝中且中间插有截面直径为2～3cm的长管，长管的上端开口且长管的长度大于球状磷铜阳极的堆积高度，长管的侧壁开有均匀分布的小孔，将长管纵向分为5～8区，采用移液管在横向、纵向各个区域内取液，测定Cl^-浓度；所述钛蓝的底部设有鼓泡装置。

2.根据权利要求1所述方法，其特征在于，所述球状磷铜阳极中磷的含量为50～2000ppm。

3.根据权利要求2所述方法，其特征在于，所述球状磷铜阳极中磷的含量为200ppm～650ppm。

4.根据权利要求1-3任一权利要求所述方法，其特征在于，所述测定阳极附近Cl^-的浓度的频率为每隔30～60min测定一次。

5.根据权利要求1-3任一权利要求所述方法，其特征在于，所述电镀液为：CuSO₄：30～50g/L（Cu）；H₂SO₄：20～150g/L；氯离子20～80ppm；表面添加剂：CC-1220，1mL/L。

6.根据权利要求5所述方法，其特征在于，所述电镀液的温度为20～40℃。