[发明专利]光探测器有效

专利信息
申请号: 201710374706.8 申请日: 2017-05-24
公开(公告)号: CN108933182B 公开(公告)日: 2020-05-15
发明(设计)人: 张金;魏洋;姜开利;范守善 申请(专利权)人: 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司
主分类号: H01L31/105 分类号: H01L31/105
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100084 北京市海淀区清*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 探测器
【说明书】:

一种光探测器,其包括一半导体元件、一第一电极、一第二电极及一电流探测元件,所述半导体元件、第一电极、第二电极、电流探测元件相互电连接形成一回路结构,该半导体元件包括:一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构。

技术领域

发明涉及一种光探测器。

背景技术

光探测器是一种探测光能的器件。一般光探测器的工作原理是基于光电效应,基于材料吸收了光辐射能量后改变了它的电学性能,从而可以探测出光的存在以及光能的大小。半导体器件被越来越多的应用到光探测器中。然而,受技术水平的限制,半导体器件常常为微米结构,一定程度上限制了光探测器的尺寸,影响了其应用范围。

发明内容

有鉴于此,确有必要提供一种光探测器以克服以上缺点。

一种光探测器,其包括一半导体元件、一第一电极、一第二电极及一电流探测元件,所述半导体元件、第一电极、第二电极、电流探测元件相互电连接形成一回路结构,该半导体元件包括:一半导体结构,所述半导体结构包括一P型半导体层及一N型半导体层,并定义一第一表面及与第一表面相对的第二表面;一碳纳米管,该碳纳米管设置于半导体结构的第一表面;一导电膜,该导电膜通过沉积方法形成于所述半导体结构的第二表面,使半导体结构设置于碳纳米管和导电膜之间,碳纳米管、半导体结构与导电膜相互层叠形成一多层立体结构;其中,所述第一电极与碳纳米管电连接,所述第二电极与导电膜电连接。

相较于现有技术,本发明所提供的光探测器包括一半导体元件,该半导体元件中,碳纳米管、半导体结构和导电膜构成一纳米级的异质结,故,该光探测器可以具有较小的尺寸,同时在应用时具有较低的能耗以及更高的完整性。

附图说明

图1为本发明第一实施例提供的光探测器的整体结构示意图。

图2为本发明第一实施例提供的光探测器中的半导体元件的侧视示意图。

图3为本发明另实施例提供的另一种半导体元件侧视示意图。

图4为本发明第二实施例提供的光探测器的部分结构示意图。

主要元件符号说明

光探测器 10;20

半导体元件 100

碳纳米管 102

半导体结构 104

P型半导体层 104a

N型半导体层 104b

导电膜 106

多层立体结构 110

第一电极 202

第二电极 204

第三电极 208

绝缘层 210

电流探测元件 212

如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。

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