[发明专利]用于阴极环修补的掩膜装置及其使用方法

权利要求书

1.一种用于阴极环修补的掩膜装置，其特征在于，包括掩膜版，所述掩膜版包括显示区遮挡部（10）、镂空部（20）以及加强筋（30），所述镂空部（20）通过所述加强筋（30）连接在所述显示区遮挡部（10）的外围；

所述显示区遮挡部（10）的形状为矩形；所述镂空部（20）包括四个环绕在所述显示区遮挡部（10）外围的镂空区（21）；所述加强筋（30）位于相邻的所述镂空区（21）之间；每一所述镂空区（21）呈L形，位于所述显示区遮挡部（10）的对角处并向所述显示区遮挡部（10）相接的两边延伸；

所述显示区遮挡部（10）的长、宽度分别为器件显示区长、宽度的100%-500%；所述镂空部（20）的宽度为阴极环宽度的50%-500%；所述加强筋（30）的长度与所述镂空部（20）的宽度一致；所述加强筋（30）的宽度为所述镂空部（20）宽度的10%；

所述掩膜版还包括通过所述加强筋（30）连接在所述镂空部（20）外围的边缘部（40）；

所述掩膜版为铁镍合金薄板，通过以下方法制得：

在铁镍合金薄板上旋涂光刻胶，并将掩模版图案光刻在铁镍合金薄板上；掩模版图案包括对应显示区遮挡部（10）的遮挡区、对应边缘部（40）的边缘区以及对应加强筋（30）的连接区，连接区连接在遮挡区和边缘区之间；

用干法或湿法刻蚀将铁镍合金薄板上没有光刻胶的部分刻穿，刻穿部分形成镂空部（20），制得掩模版。

2.一种权利要求1所述的掩膜装置的使用方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将掩膜版放置在显示器（1）上；其中，所述掩膜版的显示区遮挡部（10）遮挡在显示器（1）的显示区（3）上，镂空部（20）对应在显示器（1）的阴极环（2）处；

S2、将修补材料透过所述镂空部（20）沉积在所述阴极环（2）上。