[发明专利]微流量控制装置及其控制和阀门检测方法

权利要求书

1.一种微流量控制装置，其特征在于，包括流体管道、流体驱动机构；

多个流体驱动机构在流体管道内部，且沿流体管道延伸方向依次分布；

所述流体驱动机构包括电导通件、变形件；

所述变形件包括磁致变形部件、电致变形部件以及热致变形部件中的任一种或任多种部件；

所述电导通件包括电磁线圈(3)和/或导线(907)；

磁致变形部件位于电磁线圈(3)形成的磁场中；

磁致变形部件在电磁线圈(3)所形成磁场的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动；

电致变形部件在导线(907)所通入电信号的影响下发生的形变，能够直接或者间接地驱动流体管道中的流体流动。

2.根据权利要求1所述的微流量控制装置，其特征在于，所述流体驱动机构还包括：磁偏置结构(1)、敏感部件(4)；

所述磁致变形部件包括导磁结构(2)；

导磁结构(2)位于磁偏置结构(1)的偏置磁场中；

导磁结构(2)具有磁场回路间隙(5)；

电磁线圈(3)缠绕在导磁结构(2)上；

敏感部件(4)安装在导磁结构(2)上；

所述磁场回路间隙(5)与所述流体管道的流体管道壁(6)共同构成流体管道开口；

所述磁偏置结构(1)提供偏置磁场；

所述导磁结构(2)形成磁场回路；

所述电磁线圈(3)提供交流磁场激励；

所述敏感部件(4)采集导磁结构(2)在交流磁场、偏置磁场以及待检测变量共同作用下产生的磁驱动力所引发的磁电转化信号。

3.根据权利要求2所述的微流量控制装置，其特征在于，所述敏感部件(4)采集导磁结构(2)在交流磁场、偏置磁场以及待检测变量共同作用下在所述磁场回路间隙(5)处产生的磁驱动力所引发的磁电转化信号；

所述导磁结构(2)采用如下任一种磁性材料或者任多种磁性材料的连接组合体：

-软磁非金属铁氧体材料；

-金属磁性材料；

-非晶及纳米材料或合金；

所述电磁线圈(3)的输入电流固定，提供恒定交流磁场；

所述磁偏置结构(1)采用如下任一种部件或者任几种部件的连接组合体：

-永磁体；

-电磁体；

-导磁材料；

所述磁偏置结构(1)相对于磁场回路间隙(5)的位置固定，提供恒定偏置磁场；

敏感部件(4)为嵌于导磁结构(2)中的力电材料体；

所述力电材料体采用如下任一种材料体或者任几种材料体的连接组合体：

-压电材料体；

-压阻材料体；

-碳纳米管材料体；

-力磁电材料体；

所述敏感部件(4)为悬臂梁结构；或者，所述敏感部件(4)嵌于导磁结构端部。

4.根据权利要求1所述的微流量控制装置，其特征在于，所述流体驱动机构还包括膜片(901)；

所述磁致变形部件包括磁体部(903)；

磁体部(903)设置在膜片(901)内；

两个膜片(901)之间形成储液腔室(904)；

储液腔室(904)通过贯穿磁体部(903)与膜片(901)的通孔(902)连通外部的流体管道内腔；

在电磁线圈(3)所形成磁场的作用下，磁体部(903)带动膜片(901)以内收或者外扩的形式变形，膜片(901)随磁体部(903)以相同形式变形改变储液腔室(904)的体积，以改变流体压力。

5.根据权利要求4所述的微流量控制装置，其特征在于，相邻的所述流体驱动机构之间共用一膜片(901)与一磁体部(903)；或者

相邻的所述流体驱动机构之间存在距离。