[发明专利]一种柔性显示基板剥离装置及方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示制造技术领域，尤其涉及一种柔性显示基板剥离装置及方法。

背景技术

由于柔性显示装置具有可变形、可弯曲等特点，柔性显示装置得到越来越广泛的应用，柔性显示装置通常包括柔性显示基板，柔性显示基板是一种基于柔性衬底基板制作形成的显示基板。

目前，柔性显示基板的制备方法一般采用如下过程，即：在刚性基板(例如玻璃基板)上形成柔性衬底基板，在柔性衬底基板上制备呈阵列排布的多个像素结构，形成位于刚性基板上的柔性显示基板，之后再采用激光照射扫描的方法即激光剥离方法(Laser Lift-off，LLO)对柔性显示基板进行剥离，激光扫描照射刚性基板，激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上，使柔性衬底基板朝向刚性基板的表面发生分解，柔性衬底基板和刚性基板分离，然后将柔性显示基板从刚性基板上取下，完成柔性显示基板的制备。

在现有的柔性显示基板的制备方法中，采用激光剥离方法对柔性显示基板进行剥离时，激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上时，激光通常垂直照射刚性基板，当刚性基板背向柔性衬底基板的表面上存在杂质或灰尘等异物时，该异物会阻挡扫描至该处的激光入射至刚性基板并透过刚性基板照射在柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上，因而柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域不能进行有效分解，柔性衬底基板朝向刚性基板的表面上与异物对应的区域也不能与刚性基板分离，后续将柔性显示基板从刚性基板上取下时，造成柔性显示基板与异物对应的区域发生形变，甚至对柔性显示基板与异物对应的区域内的像素结构造成不良影响，例如，造成该区域内的像素结构的薄膜晶体管遗留在刚性基板上，从而引起柔性显示装置的画面显示质量降低，例如，柔性显示装置显示画面时出现黑点或暗点的现象。

发明内容

本发明的目的在于提供一种柔性显示基板剥离装置，用于改善柔性显示装置的画面显示质量。

为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

一种柔性显示基板剥离装置，包括：

载物台，用于承载形成有柔性显示基板的刚性基板，柔性显示基板与所述载物台接触，所述刚性基板包括相对的第一侧和第二侧；

位于所述载物台上方的激光发生器，所述激光发生器发出的激光可在所述刚性基板的第一侧和所述刚性基板的第二侧之间水平往复移动；

对柔性显示基板进行剥离时，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光入射至所述刚性基板的入射方向，与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

优选地，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射方向不相同。

优选地，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射角不相同。

进一步地，所述激光发生器包括用于生成激光的激光生成器和供激光出射并入射至所述刚性基板的激光发射头，所述激光发射头可沿垂直于所述刚性基板的第一侧或所述刚性基板的第二侧的方向往复移动，所述激光发生器还包括调节激光入射至所述刚性基板的入射角的角度调节装置。

进一步地，所述激光生成器生成的激光水平入射至所述激光发射头，所述角度调节装置包括可转动地设置所述激光发射头内的反射片，所述反射片将所述激光生成器生成的激光反射至所述刚性基板。

优选地，所述载物台可绕竖直方向180°转动。