[发明专利]一种柔性显示基板剥离装置及方法

权利要求书

1.一种柔性显示基板剥离装置，其特征在于，包括：

载物台，用于承载形成有柔性显示基板的刚性基板，柔性显示基板与所述载物台接触，所述刚性基板包括相对的第一侧和第二侧；

位于所述载物台上方的激光发生器，所述激光发生器发出的激光可在所述刚性基板的第一侧和所述刚性基板的第二侧之间水平往复移动；

对柔性显示基板进行剥离时，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，激光入射至所述刚性基板的入射方向，与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

2.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射方向不相同。

3.根据权利要求2所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光发生器发出的激光入射至所述刚性基板的入射角不相同。

4.根据权利要求3所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述激光发生器包括用于生成激光的激光生成器和供激光出射并入射至所述刚性基板的激光发射头，所述激光发射头可沿垂直于所述刚性基板的第一侧或所述刚性基板的第二侧的方向往复移动，所述激光发生器还包括调节激光入射至所述刚性基板的入射角的角度调节装置。

5.根据权利要求4所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述激光生成器生成的激光水平入射至所述激光发射头，所述角度调节装置包括可转动地设置所述激光发射头内的反射片，所述反射片将所述激光生成器生成的激光反射至所述刚性基板。

6.根据权利要求1所述的柔性显示基板剥离装置，其特征在于，所述载物台可绕竖直方向180°转动。

7.一种柔性显示基板剥离方法，其特征在于，包括：

将形成有柔性显示基板的刚性基板放置在载物台上；

使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射，其中至少两次扫描照射时，所述激光入射至所述刚性基板的入射方向，与所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向之间的夹角不相同。

8.根据权利要求7所述的柔性显示基板剥离方法，其特征在于，所述使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行至少两次扫描照射的步骤中，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射，使激光发生器发出的激光对所述刚性基板进行两次扫描照射的步骤包括：

使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射；

使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射。

9.根据权利要求8所述的柔性显示基板剥离方法，其特征在于，在所述使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一次扫描照射的步骤中，激光入射至所述刚性基板的入射角为第一入射角；

在所述使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射的步骤中，激光入射至所述刚性基板的入射角为第二入射角，所述第二入射角与所述第一入射角不相同。

10.根据权利要求8所述的柔性显示基板剥离方法，其特征在于，

使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向移动；使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第二侧指向所述刚性基板的第一侧的方向移动；

或者，

使激光以第一入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第一扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第二侧指向所述刚性基板的第一侧的方向移动；使激光以第二入射方向入射至所述刚性基板，对所述刚性基板进行第二次扫描照射时，激光沿所述刚性基板的第一侧指向所述刚性基板的第二侧的方向移动。