[发明专利]频谱检查装置有效
| 申请号: | 201710308480.1 | 申请日: | 2017-05-04 |
| 公开(公告)号: | CN108507676B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
| 发明(设计)人: | 王唯科;陈裕仁 | 申请(专利权)人: | 采钰科技股份有限公司 |
| 主分类号: | G01J3/36 | 分类号: | G01J3/36;G01J3/45 |
| 代理公司: | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 频谱 检查 装置 | ||
1.一种频谱检查装置,包括:
一感测单元阵列,包括一第一感测单元、一第二感测单元一第三感测单元及一第四感测单元;
一第一双带通滤波器,配置在该感测单元阵列上以覆盖该第一感测单元及该第二感测单元,其中该第一双带通滤波器允许光线中的一第一波段及一第二波段通过;
一第二双带通滤波器,配置在该感测单元阵列上以覆盖该第三感测单元及该第四感测单元,其中该第二双带通滤波器允许该光线中的一第三波段及一第四波段通过;
一滤波器,配置于该第一双带通滤波器及该第二双带通滤波器上且覆盖该第二感测单元及该第四感测单元,其中该滤波器允许光线中波长长于一既定波长的光通过,
其中该既定波长长于该第一波段及该第三波段的波峰波长且短于该第二波段及该第四波段的波峰波长,
该第三波段的波峰波长长于该第一波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长,该第四波段的波峰波长长于该第二波段的波峰波长。
2.如权利要求1所述的频谱检查装置,其中该第一感测单元产生一第一强度值,该第二感测单元产生一第二强度值,该第三感测单元产生一第三强度值,该第四感测单元产生一第四强度值,
对应到该第一波段的一第一频谱值从该第一强度值减去该第二强度值获得,对应该第二波段的一第二频谱值从该第二强度值获得,
对应到该第三波段的一第三频谱值从该第三强度值减去该第四强度值获得,对应该第四波段的一第四频谱值从该第四强度值获得。
3.如权利要求2所述的频谱检查装置,还包括:
一第三双带通滤波器,配置在该感测单元阵列上;
其中该感测单元阵列包括一第五感测单元及一第六感测单元,
该第三双带通滤波器覆盖该第五感测单元及该第六感测单元,且允许该光线中的一第五波段及一第六波段通过,
该滤波器更设置于该第三双带通滤波器上以覆盖该第六感测单元,且允许该光线中波长长于该既定波长的光通过,
该既定波长长于该五波段的波峰波长且短于该第六波段的波峰波长。
4.如权利要求3所述的频谱检查装置,其中该第三波段的波峰波长长于该第一波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长,该第四波段的波峰波长长于该第二波段的波峰波长,
该第五波段的波峰波长长于该第三波段的波峰波长且短于该第二波段的波峰波长,该第六波段的波峰波长长于该第四波段的波峰波长。
5.如权利要求4所述的频谱检查装置,其中该第一感测单元产生一第一强度值,该第二感测单元产生一第二强度值,该第三感测单元产生一第三强度值,该第四感测单元产生一第四强度值,该第五感测单元产生一第五强度值,该第六感测单元产生一第六强度值,
对应到该第一波段的一第一频谱值从该第一强度值减去该第二强度值获得,对应该第二波段的一第二频谱值从该第二强度值获得,
对应到该第三波段的一第三频谱值从该第三强度值减去该第四强度值获得,对应该第四波段的一第四频谱值从该第四强度值获得,
对应到该第五波段的一第五频谱值从该第五强度值减去该第六强度值获得,对应该第六波段的一第六频谱值从该第六强度值获得。
6.如权利要求3所述的频谱检查装置,还包括:
一第四双带通滤波器,配置在该感测单元阵列上;
其中该感测单元阵列包括一第七感测单元及一第八感测单元,
该第四双带通滤波器覆盖该第七感测单元及该第八感测单元,且允许该光线中的一第七波段及一第八波段通过,
该滤波器更设置于该第四双带通滤波器上以覆盖该第八感测单元,且允许该光线中波长长于该既定波长的光通过,
该第四波长长于该七波段的波峰波长且短于该第八波段的波峰波长。
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