[发明专利]一种用于LED灯具生产的外延片硅渣刮除装置在审
申请号: | 201710305456.2 | 申请日: | 2017-05-03 |
公开(公告)号: | CN106971940A | 公开(公告)日: | 2017-07-21 |
发明(设计)人: | 冯晓栋 | 申请(专利权)人: | 冯晓栋 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L33/00 |
代理公司: | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人: | 于洁 |
地址: | 314500 浙江省嘉兴市桐*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 led 灯具 生产 外延 片硅渣刮 装置 | ||
技术领域
本发明涉及一种LED灯具生产装置,尤其涉及一种用于LED灯具生产的外延片硅渣刮除装置。
背景技术
发光二极管灯具,亦称LED灯具,是指能透光、分配和改变LED光源光分布的器具,包括除LED光源外所有用于固定和保护LED光源所需的全部零、部件,以及与电源连接所必需的线路附件。发光二极管灯具以其高效、节能、安全、长寿、小巧、清晰光线等技术特点,正在成为新一代照明市场的主力产品,且有力地拉动环保节能产业的高速发展。
硅外延是在高温下通过气相化学反应,在抛光的硅单晶片上生长一层或多层硅单晶薄膜,通过控制生长条件,可以获得不同电阻率,不同厚度及不同型号的外延层,主要用于制造各种硅集成电路和分立器件中重要的基础材料,大直径的硅集成电路芯片生长线均选用硅外延作为起始材料。大直径的硅片生长外延层后,硅片上会长出硅渣,外延片上含有较多硅渣会影响LED灯具的后续生产,会降低LED灯具的质量,目前,还没有有效的方法去除已经产生的硅渣,因此含有较多硅渣的外延片通常是报废的,从而会导致原料的浪费、会造成一定的经济损失,且一般是将报废的外延片埋入地面进行降解,如此会污染环境,因此亟需研发一种能够节约原料,能够减少经济损失,能够保护环境的用于LED灯具生产的外延片硅渣刮除装置。
发明内容
(1)要解决的技术问题
本发明为了克服含有较多硅渣的外延片通常是报废的,从而会导致原料的浪费、会造成一定的经济损失,将报废的外延片埋入地面进行降解会污染环境的缺点,本发明要解决的技术问题是提供一种能够节约原料,能够减少经济损失,能够保护环境的用于LED灯具生产的外延片硅渣刮除装置。
(2)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供了这样一种用于LED灯具生产的外延片硅渣刮除装置,包括有桌面、支腿、L形板、电机、转轴、吸盘、缸体、第一气管、第一气缸、活塞板、后侧板、第一滑轨、第一滑块、安装板、第二气缸、刮刀和第三气缸,桌面的底部连接有支腿,桌面的中部开有第一开口,桌面的底部通过螺栓连接的方式连接有L形板,L形板位于第一开口的正下方,L形板的内侧底部通过螺栓连接的方式安装有电机,电机的输出轴通过联轴器连接有转轴,转轴的顶端安装有吸盘,吸盘穿过第一开口位于桌面的上方,桌面的底部设置有缸体,缸体的左侧连接有第一气管,第一气管的末端与吸盘的底部相连接,缸体的右侧开有第二开口,缸体的右侧设有第一气缸,第一气缸通过螺栓连接的方式安装在支腿的内侧面上,第一气缸的伸缩杆穿过第二开口伸入缸体内,第一气缸的伸缩杆通过螺栓连接的方式连接有活塞板,桌面的顶部连接有后侧板,后侧板的前侧面上部通过螺栓连接的方式水平连接有第一滑轨,第一滑轨上设有与其滑动配合的第一滑块,第一滑块的底部通过螺栓连接的方式连接有安装板,安装板的底部通过螺栓连接的方式安装有第二气缸,第二气缸的伸缩杆通过螺栓连接的方式连接有刮刀,刮刀位于吸盘的正上方,安装板右侧的后侧板前侧面通过螺栓连接的方式安装有第三气缸,第三气缸的伸缩杆通过螺栓连接的方式与安装板的右侧面相连接。
优选地,还包括有清扫装置,后侧板的前侧面设有清扫装置,清扫装置包括有第二滑块、弹簧、第二滑轨、第三滑块、竖板、毛刷、滚轮、第一连接杆、电动绕线轮、第一拉绳和第二拉绳,后侧板的前侧面下部横向开有两个第一滑槽,两个第一滑槽上下对称,第一滑槽内设有两个与其滑动配合的第二滑块,两个第二滑块左右对称,第二滑块与后侧板之间连接有弹簧,上下两个第二滑块的前侧面之间通过螺栓连接的方式连接有第二滑轨,第二滑轨上设有与其滑动配合的两个第三滑块,两个第三滑块上下对称,两个第三滑块的前侧面之间通过螺栓连接的方式连接有竖板,竖板的底端连接有毛刷,后侧板的前侧面开有两个第二滑槽,两个第二滑槽左右对称,第二滑槽内设有与其配合的滚轮,滚轮上连接有第一连接杆,第一连接杆的前侧面通过螺栓连接的方式与竖板的后侧面相连接,后侧板的前侧面通过螺栓连接的方式安装有电动绕线轮,电动绕线轮位于两个第一滑槽之间,电动绕线轮上绕有第一拉绳和第二拉绳,第一拉绳的末端与左侧第二滑轨的右侧面相连接,第二拉绳的末端与右侧第二滑轨的左侧面相连接。
优选地,还包括有吸尘装置,吸尘装置包括有吸尘器、第一吸气管、第一吸嘴、第二吸气管和第二吸嘴,左侧支腿的右侧设有吸尘器,吸尘器设置在地面上,吸尘器上连接有第一吸气管,第一吸气管的末端连接有第一吸嘴,第一吸嘴位于吸盘的左上方,第一吸气管上连接有第二吸气管,第二吸气管的末端连接有第二吸嘴,第二吸嘴位于吸盘的右上方。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造