[发明专利]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

说明书

技术领域

本发明涉及检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，尤其涉及用于对电路基板等检查对象进行电检查的检查夹具及具备该检查夹具的检查装置。

背景技术

以往，在对电路基板等检查对象进行短路、断路等电检查时，在检查装置中常常使用具备多根直线状的探针的检查夹具。

如图4所示，上述检查夹具通常包括：检查侧支承体11X；与所述检查侧支承体11X隔开间隔配置的电极侧支承体13X；将所述检查侧支承体11X与所述电极侧支承体13X连接的连接构件12X；与所述电极侧支承体13X接触并设置在所述电极侧支承体13X的同所述连接构件相反的一侧的电极安装部(未图示)；以及贯穿所述电极侧支承体13X和所述检查侧支承体11X、前端从所述检查侧支承体11X突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体13X突出而与电极接触的多根探针14X(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本专利特开2005-338065号公报

使用上述检查夹具的检查装置在检查时通常利用夹持机构夹持检查对象，并在此状态下使检查侧支承体(的载放面)载放于检查对象，从而使从检查侧支承体(的载放面)露出的多根探针的前端与检查对象的检查点接触。

实际中，为了提高检查速度，有时需要在一次检查中对多个检查对象进行检查。在这种情况下，可考虑增大一个检查夹具的检查侧支承体的载放于检查对象的载放面的面积。不过，这样一来，检查夹具的检查侧支承体等的尺寸(沿着垂直于检查侧支承体的载放面的方向观察时的外形尺寸)会变得比检查装置中的从电极安装部的与连接构件相反的一侧支承检查夹具的夹具安装部的尺寸大，导致检查侧支承体等的在垂直于载放面的方向上与夹具安装部不重叠的部分成为不受支承的状态。这样的话，检查夹具的载放于检查对象的载放面的平面度会因检查夹具的自重而变差，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间会产生错位，导致无法顺利地进行检查等问题。特别是在对大型柔性电路基板这样的检查对象进行检查时，需要在利用夹持机构对电路基板施加拉伸力的状态下使电路基板与检查夹具的载放面接触，因此，电路基板的张力会对检查夹具施加作用力，导致检查夹具的载放于检查对象的载放面的平面度变得更差，使上述问题变得更为严重。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供检查夹具及具备该检查夹具的检查装置，即使检查夹具的尺寸大于夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时检查夹具的与检查对象接触的载放面的平面度变差。

为实现上述目的，本发明的第一方面提供一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：夹具头部；以及以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，其中，所述夹具头部包括：具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及贯穿所述电极侧贯通孔和所述检查侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与电极接触的多根探针，其中，所述检查侧支承体包括：多个载放板，多个该载放板沿水平方向排列，且分别具有能够与所述检查对象接触的载放面和供所述探针贯穿的贯通孔；以及支承板，该支承板从所述电极侧支承体一侧对多个所述载放板进行支承，且形成有供所述探针贯穿的贯通孔。

根据本发明第一方面的检查夹具，在检查侧支承体中，通过采用多个载放板和同时对多个载放板进行支承的支承板这样的结构，能加强多个载放板的抗变形能力，因此，即使检查夹具的尺寸(多个载放板整体的沿着垂直于载放板的载放面的方向观察时的外形尺寸)大于安装该检查夹具的夹具安装部的尺寸，也有助于避免因检查夹具的自重、从检查对象受到的作用力等而导致检查时多个载放板的与检查对象接触的载放面的平面度变差。由此，在检查时，检查对象的检查点与从检查侧支承体的载放面露出的多根探针的前端之间不易产生错位，能顺利地对检查对象进行检查等。

本发明第二方面的检查夹具是在本发明第一方面的检查夹具的基础上，所述检查侧支承体还包括多个中间板，多个该中间板以分别与多个所述载放板对应的方式夹设在所述载放板与所述支承板之间，且分别形成有供所述探针贯穿的贯通孔。