[发明专利]检查夹具及具备该检查夹具的检查装置

权利要求书

1.一种检查夹具，安装在用于对检查对象进行检查的检查装置中，包括：

夹具头部；以及

以能装卸的方式与所述夹具头部连接，并设置在所述夹具头部的同所述检查对象相反的一侧，且安装有电极的电极安装部，

其中，所述夹具头部包括：

具有检查侧贯通孔的检查侧支承体；

与所述检查侧支承体隔开间隔配置，且具有电极侧贯通孔的电极侧支承体；

将所述检查侧支承体与所述电极侧支承体连接在一起的连接构件；以及

贯穿所述电极侧贯通孔和所述检查侧贯通孔、前端从所述检查侧支承体突出而能够与检查对象接触、后端从所述电极侧支承体突出而与电极接触的多根探针，

所述检查夹具的特征在于，

所述检查侧支承体包括：多个载放板，多个该载放板沿水平方向排列，且分别具有能够与所述检查对象接触的载放面和供所述探针贯穿的贯通孔；以及支承板，该支承板从所述电极侧支承体一侧对多个所述载放板进行支承，且形成有供所述探针贯穿的贯通孔。

2.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体还包括多个中间板，多个该中间板以分别与多个所述载放板对应的方式夹设在所述载放板与所述支承板之间，且分别形成有供所述探针贯穿的贯通孔。

3.如权利要求2所述的检查夹具，其特征在于，

所述支承板的厚度比所述载放板和所述中间板的厚度大。

4.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

在所述检查侧支承体与所述电极侧支承体之间设置有支承条，

所述支承条以横跨多个所述载放板中的至少两个载放板的方式沿多个所述载放板的排列方向延伸，

所述支承条的靠所述检查侧支承体一侧的端面与所述检查侧支承体抵接，所述支承条的靠所述电极侧支承体一侧的端面与所述电极侧支承体抵接。

5.如权利要求4所述的检查夹具，其特征在于，

在水平方向中的与多个所述载放板的排列方向正交的方向上，至少在所述检查侧支承体的中间位置设置有所述支承条。

6.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述检查侧支承体和所述电极侧支承体俯视分别呈长方形。

7.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

多个所述载放板的俯视时的轮廓不超出所述支承板的轮廓。

8.如权利要求1所述的检查夹具，其特征在于，

所述支承板由环氧玻璃制成。

9.一种检查装置，其特征在于，包括：

权利要求1至8中任一项所述的检查夹具；

移动机构，该移动机构用于使所述检查夹具移动，且该移动机构具有夹具安装部，该夹具安装部对所述电极安装部进行支承，并且在俯视时，该夹具安装部的外形小于所述电极安装部的外形；

搬运机构，该搬运机构用于搬运所述检查对象；夹持机构，该夹持机构对所述检查对象进行夹持，以使所述检查对象处于能够被检查的状态；

控制部，该控制部对所述移动机构、所述搬运机构和所述夹持机构进行控制；以及

显示部，该显示部显示对所述检查对象检查的结果。

10.如权利要求9所述的检查装置，其特征在于，

在俯视时，所述夹具安装部的外形小于所述电极侧支承体和所述检查侧支承体的外形。