[发明专利]一种掩膜板及其张网装置、方法

权利要求书

1.一种掩膜板张网装置，其特征在于，所述掩膜板张网装置用于对条状掩膜板进行张网；所述装置包括用于向沿掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力的第一部件，和用于向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力的第二部件，其中，所述第一方向和所述第二方向确定所述掩膜板所在的面；

所述第一部件和/或所述第二部件包括至少两个电磁体部件；

所述装置还包括用于控制所述电磁体部件沿所述第一方向、所述第二方向和第三方向移动的控制部件，其中，所述第三方向垂直于所述掩膜板所在的面；

所述电磁体部件还用于：在所述控制部件控制下沿所述第三方向移动，使得所述掩膜板与用于支撑所述掩膜板的掩膜板支架接触，以及在所述掩膜板与所述掩膜板支架焊接的步骤中作为所述掩膜板与所述掩膜板支架焊接的固定单元。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制部件包括：信号处理模块和执行模块；

所述信号处理模块用于提供所述电磁体部件移动的位移；

所述执行模块用于根据所述位移，控制所述电磁体部件沿所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中的任意一个或多个方向移动。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制部件控制每个所述电磁体部件单独工作，或者，所述控制部件控制多个所述电磁体部件协同工作。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，在所述掩膜板的两侧均设置所述电磁体部件。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述电磁体部件包括电磁体本部和驱动该电磁体本部移动的马达。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于支撑所述掩膜板的承重基台。

8.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括与所述控制部件连接的掩膜板位置精度检测模块，所述掩膜板精度检测模块用于检测所述掩膜板张网实际开口位置与所述掩膜板张网目标开口位置是否一致。

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述掩膜板位置精度检测模块为电荷耦合器件CCD。

10.一种掩膜板张网方法，采用权利要求1～9任一项所述的掩膜版张网装置，其特征在于，包括：

在承重基台上设置掩膜板框架和掩膜板支架，其中，所述掩膜板框架包围所述掩膜板支架；

在所述掩膜板框架和所述掩膜板支架上设置掩膜板；

利用所述第一部件向沿所述掩膜板的第一方向延伸的两端施加拉力，以及，利用所述第二部件向沿掩膜板的第二方向延伸的两端施加拉力；

将所述掩膜板固定在所述掩膜板框架上；

通过所述控制部件控制所述电磁体部件沿所述第三方向移动，使得所述掩膜板与位于该掩膜板和所述电磁体之间的掩膜板支架接触；

将所述掩膜板固定在所述掩膜板支架上。

11.根据权利要求10所述的掩膜板张网方法，其特征在于，当所述第一部件和/或所述第二部件包括电磁体本部和马达，所述张网装置包括用于控制所述电磁体部件沿 所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向中的任意一个或多个方向移动的控制部件时，所述方法还包括：

利用所述第一部件向沿所述掩膜板的所述第一方向延伸的两端施加拉力，具体包括：利用所述控制部件控制所述马达驱动所述电磁体本部移动，使得所述电磁体本部与所述掩膜板接触并吸附所述掩膜板，以及使得所述第一部件向所述掩膜板施加沿 所述第一方向延伸的拉力；

利用所述第二部件向沿所述掩膜板的所述第二方向延伸的两端施加拉力，具体包括：利用所述控制部件控制所述马达驱动所述电磁体本部移动，使得所述电磁体本部与所述掩膜板接触并吸附所述掩膜板，以及使得所述第二部件向所述掩膜板施加沿 所述第二方向延伸的拉力。